圍繞塵埃來源和塵埃積聚對潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點：

1、頂棚：頂棚材料多采用表面光滑材料，如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板，可以采用吸附力強的無塵抹布擦拭表面，并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機吸塵。

2、墻面：墻面材料多采用表面光滑材料，如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板，可以采用吸附力強的無塵抹布、無塵抹水器擦拭表面，并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機吸塵。

地面：地面材料多采用聚氨脂涂料、環(huán)氧樹脂、人造革、水磨石www.qilvc.com，為了有效預(yù)防地面材料發(fā)塵和提高地面材料的使用壽命，可采用防靜電積聚的蠟水打蠟。蠟面用超濾塵工業(yè)吸塵機吸塵或洗地吸干機進行廠房地面清潔。

對風(fēng)口、縫隙、閥門、燈具、門窗、管孔用超濾塵工業(yè)吸塵機吸塵或用無塵抹布擦拭。

清潔劑的使用要求：潔凈廠房對濕度要求嚴格，盡量避免濕洗，必要時可用中性清潔劑，盡量少用酸性或堿性的清潔劑。清潔劑能消除靜電更隹。

　微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。

C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點為，放置方式并沒有嚴格的限制。C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護層7，而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。