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負(fù)壓潔凈室設(shè)計(jì)問(wèn)題a
負(fù)壓潔凈室設(shè)計(jì)問(wèn)題
a) 平面布局
安全生產(chǎn)過(guò)程與生產(chǎn)工藝和廠房的平面布局密切相關(guān)。合理的平面布置和嚴(yán)格的區(qū)域劃分既能防止交叉污 染,又能方便生產(chǎn)操作。所以,有毒區(qū)域和無(wú)毒區(qū)域相互 聯(lián)系又各自獨(dú)立,決不允許交叉污染。整個(gè)潔凈生產(chǎn)廠房 的設(shè)計(jì)應(yīng)嚴(yán)格按照生產(chǎn)工藝流程走向,盡量減少生產(chǎn)過(guò)程的迂回、往返和交叉。合理的平面布局和人、物流走 向在能有效控制交叉污染的風(fēng)險(xiǎn)前提下,也能使空調(diào)系統(tǒng) 設(shè)計(jì)更科學(xué),污染控制功能更簡(jiǎn)化,并能降低造價(jià)和運(yùn)行 費(fèi)用,且相應(yīng)管理制度更容易被執(zhí)行。
變頻排風(fēng)機(jī)組的保護(hù)措施
c) 變頻排風(fēng)機(jī)
排風(fēng)機(jī)組是形成負(fù)壓的關(guān)鍵因素,在選擇上不僅要考慮其排風(fēng)量和風(fēng)機(jī)全壓,還要考慮其隔離的能力。目前,有兩種形式的保護(hù)措施。一是在排風(fēng)管上安裝“袋進(jìn)袋出” 過(guò)濾風(fēng)管段,二是采用內(nèi)置了 F8 中效過(guò)濾器和 H14 過(guò) 濾器組的排風(fēng)機(jī)組。按規(guī)范要求,還必須能對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行檢漏檢測(cè)??紤]到節(jié)能、風(fēng)量和潔凈室壓差的恒定問(wèn)題, 排風(fēng)機(jī)組內(nèi)好采用變頻控制的電機(jī)。如有條件,排風(fēng)機(jī) 組還可設(shè)計(jì)成兩套排風(fēng)機(jī)組“一用一備”,供電采用雙回 路供電并增加不間斷電源進(jìn)行保護(hù),且空調(diào)自控系統(tǒng)要對(duì)排風(fēng)機(jī)組的開啟、關(guān)停、切換等設(shè)置合理的控制程序。
電子凈化車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、 溫度、 濕度、 壓差、 設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、 凈化車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控, 另外該類凈化車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。 其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電, 造成 CMOS 集成損壞。 一般來(lái)說(shuō), 電子凈化車間的溫度應(yīng)控制在 22℃左右, 相對(duì)濕度控制在 50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電, 并使人也感覺(jué)舒適。 芯片生產(chǎn)車間、 集成電路無(wú)塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)凈化車間的重要組成部分, 由于電子產(chǎn)品在制造、 生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格, 主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象, 同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、 新鮮空氣量、 噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。