零件經真空熱處理后，崎變小，品質高，且加工工藝自身實際操作靈便，無污染。滲碳時，首先是鋼表面與氣體介質相互作用，在氣相和金屬表面吸收活性碳原子，同時依靠原子的擴散速度及其形式向金屬內部擴散，擴散速度的大小取決于濃度的差別和原子的熱運動。因而真空熱處理不但是一些獨特鋁合金熱處理的必需方式，并且在一般工程項目用鋼的熱處理中也得到 運用，非常是專用工具、磨具和高精密耦件等，經真空熱處理后使用期較一般熱處理有很大的提升。比如一些磨具經真空熱處理后，其使用壽命比原先鹽浴解決的高40～400%，而有很多專用工具的使用壽命可提升3～4倍上下。除此之外，真空泵熱處理爐可在較高溫度下工作中，且產品工件能夠維持清潔的表面，因此能加快有機化學熱處理的吸咐和反映全過程。因而，一些有機化學熱處理，如滲氮、高頻淬火、滲鉻、滲硼，及其多元化共滲都能獲得更快、更強的實際效果。 

固溶處理是以便融解基身體滲碳體、γ’相同以獲得勻稱的過于飽和固溶體，有利于時效性時再次析出顆粒物細微、遍布勻稱的滲碳體和γ’等加強相，另外清除因為熱冷生產加工造成的地應力，使合金產生加工硬化。133Pa（1×10-3Torr）后，將工件升至，530～560℃，同時送入氨氣或NH3 CXHY N2O復合氣體，并對各種氣體的送入量進行控制，爐壓控制在0。次之，固溶處理是以便得到適合的晶粒度，以確保合金高溫抗應力松弛性能。固溶處理的溫度范疇大概在980~1250℃中間，關鍵依據每個合金中相析出和融解規(guī)律性及應用規(guī)定來挑選，以確保關鍵加強相必需的析出標準和一定的晶粒度。針對長期性高溫應用的合金，規(guī)定有不錯的高溫長久和應力松弛性能，應挑選較高的熱處理回火溫度以得到很大的晶粒度；針對中溫應用并規(guī)定不錯的室內溫度強度、抗拉強度、抗拉強度、斷裂韌性和疲勞極限的合金，可選用較低的熱處理回火溫度，確保較小的晶粒度。高溫固溶處理時，各種各樣析出相都逐漸融解，另外晶體長大了；超低溫固溶處理時，不但有關鍵加強相的融解，并且將會有一些相的析出。針對過對比度低的合金，一般 挑選迅速的制冷速率；針對過對比度高的合金，一般 為空氣中制冷。