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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過(guò)程都需要氧，例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì)，氧和混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。它比其他燃料更便宜。

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氧氣（oxygen）是氧元素形成的一種單質(zhì)，化學(xué)式O2，其化學(xué)性質(zhì)比較活潑，與大部分的元素都能與氧氣反應(yīng)。常溫下不是很活潑，與許多物質(zhì)都不易作用。但在高溫下則很活潑，能與多種元素直接化合，這與氧原子的電負(fù)性僅次于氟有關(guān)。

在金屬的切割和焊接中是用純度93.5%~99.2%的氧氣與可燃?xì)猓ㄈ纾┗旌?，產(chǎn)生極高溫度的火焰，從而使金屬熔融。為了強(qiáng)化和硫酸的生產(chǎn)過(guò)程也需要氧。

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氧氣是一種化學(xué)性質(zhì)比較活潑的無(wú)色無(wú)味的氣體，它可以與金屬、非金屬、化合物等多種特物質(zhì)發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)劇烈程度因條件不同而異，可表現(xiàn)為緩慢氧化、燒、爆等，反應(yīng)中放出大量的熱。  

由于氧氣有支持燃燒的性質(zhì)，故而將帶火星的木條伸到盛氧氣的集氣瓶中，木條復(fù)燃，可確定盛有氧氣，這個(gè)現(xiàn)象用于氧氣收集驗(yàn)滿操作。使用時(shí)，首先要做外部檢查，檢查重點(diǎn)是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發(fā)現(xiàn)有漏氣、滑扣、表針動(dòng)作不靈或'爬高'等，應(yīng)及時(shí)維修，切忌隨便處理。

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