當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，抽空腔的進氣部分容積擴張，將氣體通過吸入口吸入。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。氣體經(jīng)過污物防護罩，打開的防返油閥（7/54）進入泵腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子進一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔體積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓力時經(jīng)過排氣閥（6/20）從泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，潤滑和冷卻泵的作用。

壓縮氣體夾帶的油在油箱（6/27）內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。然后在出口過濾器元件（6/29）中被徹底過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度（捕集率大于99%）。

在出口過濾器中捕集的油經(jīng)過回油管（6/11）返回到進氣室。為了防止大氣壓下的氣體從油槽流入進口，回油管由一個浮球閥控制。

油循環(huán)是由油箱（壓力高于或等于大氣壓）和泵的進氣口（壓力低于大氣壓）之間存在的壓差維持的。一般的說，拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉(zhuǎn)子就報廢了。一部分油取自油槽（6/27），經(jīng)過油過濾器（6/25）流到轉(zhuǎn)子的軸承支撐點和泵腔。注入泵內(nèi)油的另一部分不會通過油過濾器。所以，如果油過濾器偶然完全堵塞，通過具有足夠油量的第二線路確保潤滑，從而保證泵良好機械運轉(zhuǎn)。

然而在這種情況下，泵達不到規(guī)定的極限壓力。一般來說這表明油臟了或油過濾器被堵塞了。

在電機軸上旋轉(zhuǎn)的風(fēng)扇產(chǎn)生冷卻所必須的空氣流，來通過冷卻盤管中的潤滑。

根據(jù)需求，可訂購帶氣鎮(zhèn)裝置（6/14）的泵（USA型號的泵氣鎮(zhèn)閥為標準配置）。

BOXER 系列（130 至 460 對/8 小時）Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼鏡鏡片鍍膜的通用性高、生產(chǎn)力高且實用的中到大型平臺。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通過若干級進行擴展的能力為基礎(chǔ)，是滿足個別生產(chǎn)（無論是 Rx 生產(chǎn)還是存貨生產(chǎn)）需求的理想選擇。460V,60Hz1092610930帶有三相電機和氣鎮(zhèn)閥的泵230V/400V,50Hz。BOXER 系列鍍膜機進行的加工包括從經(jīng)典的寬帶減反膜到吸光層（防曬）。BOXER 系列還適用于潔凈室用途。優(yōu)化的設(shè)置提供出色的性能BOXER 系列采用位于鍍膜腔中心的高功率電子槍，確保了基底上的鍍膜材料的均勻沉積。緊湊式平臺設(shè)計僅需少的占地空間且包括強大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提。不同的系統(tǒng)型號可提供靈活的應(yīng)用BOXER 真空鍍膜機提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。如果對系統(tǒng)的需求隨著時間變化，其硬件可輕松進行擴展，從而提高生產(chǎn)力。BOXER 900 采用更大體積的腔室，在產(chǎn)量方面經(jīng)過優(yōu)化，且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。提供無數(shù)定制選件，包括適用于無機玻璃應(yīng)用的雙石英晶體監(jiān)視器、翻轉(zhuǎn)布置以及加熱系統(tǒng)。智能設(shè)計，易于維護BOXER 鍍膜系統(tǒng)的矩形設(shè)計可方便腔室屏蔽的快速拆卸以進行清洗，而 BOXER 900 可通過屏蔽的滑動布置實現(xiàn)類似的輕松清洗。專門開發(fā)的“一鍵式修復(fù)”系統(tǒng)可方便基底支架的更換，由此有效地縮短基底傳送的時間。

真空泵維修一般受什么影響

真空泵的使用一般受到以下五大因素的影響，真空泵維修在維修的時候要注意以下細節(jié)。

內(nèi)走漏的影響：在整個鋼液處置過程中，體系的真空度是跟著鋼液的放氣星的削減而不斷升高的。不同的系統(tǒng)型號可提供靈活的應(yīng)用BOXER真空鍍膜機提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。在鋼液處置前期，體系真空度低，放氣量大，需求前級泵的抽氣才能大，通常選用多個泵井聯(lián)的方式增大體系的抽氣量。而當(dāng)體系真空度不斷升高時，體系的放氣量也隨之削減，為了下降蒸汽耗量，節(jié)省能源，需封閉前級井聯(lián)系中的若干只；

蒸汽的影響：咱們所用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵，是以過飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的，蒸汽的狀況對泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能，還會腐蝕蒸汽噴唬，添加泵的蒸汽用量，使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定；