真空機組選型

因在實際生產(chǎn)應用中工作條件的不同，吸入氣體及壓力會發(fā)生很多變化，所以華誠浩達建議在選型時應根據(jù)實際抽氣過程、氣體釋放過程、可凝性氣體冷凝情況、吸入壓力的時間變化等等進行校核計算或參照現(xiàn)有設備使用情況選型。多少真空度，多少時間要達到這個真空度，環(huán)境是否需要無油，預算多少等等。比如說10的-4次方pa的真空，至少得上擴散泵，如果需要無油環(huán)境還得上分子泵。

擴散泵超高真空機組

以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯(lián)一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進氣口上邊增設鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。

油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施

油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結(jié)成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵,并將泵的工作溫度控制在75~90℃之間,以減少氣鎮(zhèn)閥負擔在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,處理混有水的機械泵油,處理過的油再進入泵中使用;用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻擋機械泵向真空室的返流。