隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和市場(chǎng)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體日益增長(zhǎng)的需要，標(biāo)準(zhǔn)氣體的種類越來越多，復(fù)雜程度也越來越高，其應(yīng)用領(lǐng)域涉及到石油化工、勘探、冶金、機(jī)械制造、電子、煤炭、電力、環(huán)保等領(lǐng)域（工藝氣體或標(biāo)準(zhǔn)氣體）。進(jìn)入21世紀(jì)以來，中國(guó)擁有快速發(fā)展的工業(yè)市場(chǎng)和日益增長(zhǎng)的產(chǎn)品需求，已逐漸成為世界上氣體行業(yè)最活躍的市場(chǎng)之一，對(duì)于氣體的需求量持續(xù)高速增長(zhǎng)，給氣體行業(yè)帶來歷史性的發(fā)展機(jī)遇。了解和掌握氣體及材料的性質(zhì)，合理設(shè)計(jì)充裝工藝，制定嚴(yán)格的操作程序，清楚識(shí)氣瓶的危害性，才能確保制備和使用標(biāo)準(zhǔn)氣體過程中的安全。

半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒；還有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn)，所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。另外，氣體與容器內(nèi)壁之間存在著吸附與解吸過程，這對(duì)氣體成分的均勻分布也有影響。氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體，而氣體的純度則對(duì)組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應(yīng)的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運(yùn)作的安全。

特種氣體　(Specialty gases) ：指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的, 對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。焊接銅及銅合金時(shí)，Ar He混合氣體可以改善焊縫的潤(rùn)濕性，提高焊縫質(zhì)量。特種氣體門類繁多, 通?？蓞^(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

甲烷的特點(diǎn)

甲烷，1、物理性質(zhì)：無色無味氣體，沸點(diǎn)-161.4℃，比空氣輕，它是極難溶于水的可燃性氣體。2、化學(xué)性質(zhì)：可燃性、取代反應(yīng)、氧化反應(yīng)。液態(tài)氣體價(jià)格速遞，至3月9日，上海液氧價(jià)格3月內(nèi)漲150元/T至750元/T，液ya至1500元/T，液氮680元/T。3、應(yīng)用：作為燃料及制造氫氣、炭黑、一氧化碳及甲醛等物質(zhì)的原料。（2）原理：CH3COONa NaOH===Na2CO3 CH4↑。（3）檢驗(yàn)：點(diǎn)燃CH4，在火焰上方罩一個(gè)冷而干燥的的燒杯(現(xiàn)象：燒杯內(nèi)壁有水珠生成)。迅速把燒杯倒轉(zhuǎn)過來，向燒杯中注入少量澄清的石灰水，振蕩(現(xiàn)象：澄清石灰水變渾濁)。則證明該氣體為CH4。