FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應(yīng)用系統(tǒng)中，F(xiàn)SCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制國(guó)內(nèi)外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換，從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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體積流量的表示方法

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）, 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

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質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

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