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潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。(2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
靜電電引起的靜電,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受而摔倒,由摔倒又致傷);在此之后,設(shè)計(jì)人員應(yīng)協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃,確定各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級(jí)和各種控制參數(shù)——溫度、相對(duì)濕度、壓差、微振動(dòng)、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量。2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門(mén)柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊,失效率競(jìng)達(dá)78%,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏;
之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng),因此表現(xiàn)為越容易帶電。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施,例如:夏季要降溫、(因?yàn)橄募臼彝饪諝馐歉邷亍⒏邼竦模?,冬季要加熱加濕(因?yàn)槎臼彝饪諝馐呛涓稍锏?,室?nèi)濕度過(guò)低會(huì)產(chǎn)生靜電,靜電對(duì)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前
單向流潔凈室,從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和過(guò)濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒(méi)有渦流。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。這也就是單向流潔凈室的特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一,并且干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒(méi)有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。