金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢(shì)，本文介紹國(guó)外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國(guó)內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中?；诮饎偩€本身性能與普通鋼線的差異，金剛線切割對(duì)切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長(zhǎng)，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

切割機(jī)床廠

鋸切是硬脆材料機(jī)械加工的一道工序， 鋸切加工成本約占加工總成本的 5 0 ％以上，因此，切割工藝、工具及設(shè)備受到越來(lái)越廣泛的關(guān)注，并得到迅速發(fā)展。單線切割的金剛石線鋸分為往復(fù)式金剛石線鋸和環(huán)形回轉(zhuǎn)式金剛石線鋸。（1）從目前國(guó)內(nèi)外加工的現(xiàn)狀來(lái)看，硬脆性材料切割方法多種多樣，主要有：金剛石圓盤鋸切割（如外圓鋸片切割和內(nèi)圓鋸片切割）、金剛石帶鋸切割、電火花線切割（只能用于帶金屬晶體）、游離磨料線鋸切割和金剛石線鋸切割等等。在國(guó)際上，游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位，但是這種技術(shù)存在明顯的不足

金剛石線切割機(jī)

金剛石線切割機(jī)的選?。?/strong>