光波超精密——直線氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

獨(dú)立的具有隔、防震功能的整體加強(qiáng)的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)（建議的結(jié)構(gòu)形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實(shí)施結(jié)構(gòu)形式：由建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)和建造。

注意：如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源，請(qǐng)根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對(duì)地基產(chǎn)生振動(dòng)的影響源，含大的加工機(jī)床，磨床，沖床，交通要道等。

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氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。

大理石氣浮導(dǎo)軌對(duì)材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動(dòng)小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動(dòng)力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會(huì)輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強(qiáng)度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對(duì)于運(yùn)動(dòng)部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的測量機(jī)慣性力不會(huì)造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級(jí)的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

直線導(dǎo)軌系統(tǒng)是平面導(dǎo)軌和直線滾柱導(dǎo)軌的組合，采用滾柱安裝在平行導(dǎo)軌上，以滾柱代替鋼球支撐機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件。具有接觸面積大，負(fù)載量大，靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。

另一種在機(jī)床上經(jīng)常使用的導(dǎo)軌形式是 V形導(dǎo)軌(燕尾槽)，通常用于機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件的定位。舉例來說：位于車削中心的尾架，導(dǎo)軌系統(tǒng)可使尾架在頂部移動(dòng)或移動(dòng)到所需的位置以支撐被加工的零件，然后快速夾持。

沒有比精度、剛度和壽命更令機(jī)床制造商擔(dān)心的了。對(duì)于導(dǎo)向系統(tǒng)的研究方法是不夠的，至少在機(jī)床加工技術(shù)方面沒有把它放在重要位置，在機(jī)床樣品、宣傳廣告上，吸引人的技術(shù)參數(shù)是：主軸轉(zhuǎn)速、進(jìn)給速度、換刀時(shí)間和快進(jìn)給速度。具體要求請(qǐng)建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)長距離精密計(jì)量及校準(zhǔn)防震的通用要求設(shè)計(jì)。這些參數(shù)對(duì)機(jī)床的工作性能當(dāng)然非常重要。而導(dǎo)軌則為實(shí)現(xiàn)機(jī)床的功能提供了可靠的依據(jù)。

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導(dǎo)軌由金屬或其它材料制作的槽或脊，可經(jīng)受、穩(wěn)定、引導(dǎo)移動(dòng)裝置或設(shè)備并減少其摩擦的一種機(jī)械配件。導(dǎo)軌表面上的縱向槽或脊，用來引導(dǎo)、穩(wěn)定設(shè)備組件、機(jī)器設(shè)備、儀器設(shè)備等。對(duì)超精密機(jī)床的定位精度和運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行研究，已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)[4-6]。導(dǎo)軌又稱滑軌、線性導(dǎo)軌、線性滑軌，用來直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)場合，擁有比直線軸承更高的額定負(fù)載， 另外還可以承受一些的扭矩，可在高負(fù)載的情況下完成高精度的直線運(yùn)動(dòng)。

制作精良的石料構(gòu)件，也干了不少導(dǎo)軌。但是多為氣浮導(dǎo)軌，靜壓導(dǎo)軌較少。當(dāng)負(fù)荷一定時(shí)，氣動(dòng)靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動(dòng)保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)導(dǎo)軌的重量平衡。組裝前，精度一般能達(dá)到3、5微米左右，因?yàn)榧虞d后精度肯定會(huì)發(fā)生變化。加工后再組裝研配，直線度可達(dá)到1微米以內(nèi)，扭曲度可達(dá)到1微米以內(nèi)，平行度可達(dá)到1微米以內(nèi)。刮除時(shí)不能破壞產(chǎn)品的度。

可調(diào)性是直線滑動(dòng)導(dǎo)軌特有的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況，直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊，有一個(gè)或多個(gè)。因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運(yùn)動(dòng)，必須保證運(yùn)動(dòng)部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸，所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。

在移動(dòng)部件與導(dǎo)軌接觸面相對(duì)的一側(cè)放置斜鐵是的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動(dòng)件或?qū)к壞p，接觸面之間產(chǎn)生間隙，可通過調(diào)整傾斜鐵片，補(bǔ)償導(dǎo)軌，消除運(yùn)動(dòng)件與導(dǎo)軌之間的間隙。

機(jī)床廠已開發(fā)出斜鐵自動(dòng)調(diào)節(jié)的專利技術(shù)，并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是，當(dāng)移動(dòng)部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損時(shí)，使斜鐵保持固定的彈簧壓力，斜鐵能自動(dòng)消除兩者之間的間隙。