高純/特種氣體的概念

半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時的危險性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

針對不同的場所怎么設(shè)定氧氣報警儀的報警值？首先看一下有關(guān)標準的規(guī)定。

1 、《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設(shè)計標準》

（GB/T50493-2019）5.5.2環(huán)境氧氣的過氧報警設(shè)定值宜為23.5%VOL，環(huán)境欠氧報警設(shè)定值宜為19.5%VOL（條文說明：氧氣的過氧報警值和欠氧報警值的設(shè)定可只設(shè)一級報警，二級報警值由企業(yè)自定）；6.1.3 環(huán)境氧氣探測器的安裝高度宜距地坪或樓地板1.5m～2.0m。條文說明4.1.6環(huán)境氧氣報警濃度具體的數(shù)值確定，應(yīng)視項目所處環(huán)境而調(diào)整，如高原地區(qū)，海拔高度1610m 時，大氣中的正常氧含量約為17.3%（v/v），其欠氧、過氧大氣環(huán)境的氧含量應(yīng)做合理調(diào)整。

2、 《化學(xué)品生產(chǎn)單位特殊作業(yè)安全規(guī)范》（GB 30871-2014）

作業(yè)前，應(yīng)根據(jù)受限空間盛裝（過）的物料特性，對受限空間進行清洗或置換，并達到如下要求：a）氧含量為18%～21%，在富氧環(huán)境下不應(yīng)大于23.5%；b）有毒氣體（物質(zhì)）濃度應(yīng)符合GBZ2.1的規(guī)定；c）可燃氣體濃度要求同5.4.2規(guī)定。

1988年以前，我國的用氧都是由制氧廠采用深冷法分離空氣按照《工業(yè)用氣態(tài)氧》標準生產(chǎn)的工業(yè)用氧氣。隨著我國衛(wèi)生事業(yè)的日益發(fā)展和人民健康水平的不斷提高，對氧氣的質(zhì)量要求在不斷提高，繼續(xù)把含有游離水、鹵素等對人體有害雜質(zhì)的工業(yè)用氧氣用于和保健，顯然已不符合人體健康要求。為此，1988年4月12日，國家標準總局頒布了GB 8982-1988《氧氣》國家標準，并于同年12月1日開始實施。該標準規(guī)定了氧氣氧含量≥99.5%，同時對水份、二氧化碳、1氧化碳、氣態(tài)酸和堿、臭氧和其他氣態(tài)化合物含量及氣味作了規(guī)定。

氧氣和工業(yè)氧氣的區(qū)別在于對氧氣中水分的控制。我們生活中常常有這樣的經(jīng)驗，經(jīng)表面光潔，沒有生銹的鐵放在露天很長時間也不會生銹，可是一場大雨過后就會銹跡斑斑。這是因為氧氣在有水存在下的時候才會使大量的鐵分子氧化。并且鐵氧化后不僅會有鐵銹還有氫氣等其他對人體有害的氣體被排出。鐵被氧化后形成鐵銹，鐵銹很疏松，很容易形成小顆?；烊胙鯕庵?。被吸入，從而引起等呼吸道的損傷。所以氧氣生產(chǎn)上大程度的降低氧氣中的水分含量是極其重要的。

標準氣體的相關(guān)知識

關(guān)于標準氣體的用途，大家應(yīng)該都非常的了解了，它可以用在我們生活中的很多領(lǐng)域，并且發(fā)揮非常重要的作用，下面我們就來了解一下它的相關(guān)知識吧。

標準氣體是已知準確濃度的某種或某幾種待測物質(zhì)的空氣或惰性氣體化合物。在空氣理化檢驗工作中，標準氣體廣泛用于空氣污染物的定性分析、定量分析和質(zhì)量控制工作。評價分析方法的準確性、評價采樣方法的效率、校正分析儀器時都需要標準氣體。

靜態(tài)配氣法的特點是除高壓鋼瓶配氣法外，靜態(tài)配氣法具有設(shè)備簡單進，操作方便，標準物質(zhì)和稀釋氣體的用量小等優(yōu)點。