國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工，包括：去頭尾、截?cái)?、開(kāi)方等的加工，大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙，浪費(fèi)材料，金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。

實(shí)際上，應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工，能得到更高的質(zhì)量。

元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能：

1. 切割晶體尺寸：  300*300 mm

2. 切割線線速度： 小于60 m/s

3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度：  500 mm/s

4. 晶片表面粗糙度：    Ra≤ 0.2μm

金屬線切割

金屬線切割過(guò)程中的注意事項(xiàng)

如各類硬質(zhì)合金鋼、氮化硅陶瓷、金屬陶瓷、鈦合金、電機(jī)等。（2）金剛線切割出片率較砂漿線切割出片率每公斤多出10片，硅料成本下降。這是因?yàn)榻饘兕惖臉悠肪哂姓车兜奶匦裕档徒饎偸€的磨削率，若切割速度設(shè)置過(guò)快會(huì)使與樣品接觸處的金剛石線出現(xiàn)一定向上的弧度，兩個(gè)導(dǎo)向輪間線的跨距越大，允許的弧度越大，一般跨距是900㎜時(shí)允許金剛石線與樣品接觸處出現(xiàn)弧度的至高點(diǎn)與金剛石線的水平位置的距離不超過(guò)6㎜

高速切割設(shè)備

切割行程的設(shè)置：

切割行程=樣品的長(zhǎng)度 5mm。為保證將樣品切斷，通常會(huì)在樣品的實(shí)際高度之上增加5㎜。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面，將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削，達(dá)到切割的效果。當(dāng)要求對(duì)樣品進(jìn)行開(kāi)槽時(shí)，實(shí)際切割行程應(yīng)與開(kāi)槽深度相同，為保證停止切割時(shí)所開(kāi)槽口深度達(dá)到要求，當(dāng)切割行程達(dá)到設(shè)定行程時(shí)應(yīng)暫停切割，但主軸帶動(dòng)金剛石切割線繼續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間，從而使樣品未達(dá)到切割深度的位置繼續(xù)被切割，直到樣品被切割部位每一點(diǎn)都達(dá)到所要求的切割深度。