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高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。
高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對于氮,氫,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳?xì)浠衔铮兌葹?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護(hù)氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。管道連接采用焊接,內(nèi)壁無瘢痕的對接焊,高純氬氣保護(hù)焊,在專用的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。
高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無機(jī)高純氣體
無機(jī)高純氣體
1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮氣(N2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等;抗腐蝕性微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發(fā)生安全事故。2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等;3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、 四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等
高純氣體 高純氫氣
純度(V/V):99.999%
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) :國標(biāo)
產(chǎn)品介紹 :
,無色無味氣體。 用于合成氨和甲醇等、石油l精制,有機(jī)物氫化及。
使用要求
氫氣是的氣體,和氟、氯、氧、一氧化碳以及空氣混合均有爆l炸的危險,其中,氫和氟的混合物在低溫和黑暗環(huán)境就能發(fā)生自發(fā)性爆l炸,與氯的混合為1:1時,在光照下也可爆l炸。
檢修或處理氫氣管道、設(shè)備、氣瓶之前,必須先用氮氣將氫氣置換到符合動火規(guī)定,方能開始工作。瓶裝氫在使用時開啟瓶閥要緩慢。
瓶裝氫氣應(yīng)存在無明火、遠(yuǎn)離熱源、通風(fēng)良好、離氧化劑氣瓶及可燃材料遠(yuǎn)的地方,氫氣瓶的庫房的建筑、電氣、耐火、防爆、要求等應(yīng)符合防火規(guī)范。