低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。

現(xiàn)象如果發(fā)生在葉片的表面，則金屬材料因反復(fù)受到很高的沖擊應(yīng)力而被侵蝕，所以叫做氣蝕。氣蝕過程發(fā)生時，出口壓力激烈波動，流動的連續(xù)性遭到破壞，泵的流量急劇下降。氣蝕發(fā)生嚴(yán)重時，常常伴隨有氣堵現(xiàn)象。不過，不同于單純的氣堵現(xiàn)象之處在于：氣蝕要對泵造成嚴(yán)重?fù)p壞。一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于  帕。溫度為20K時，除氦和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于  帕。

對壓縮的液體，NPSH所需的值一般在液泵制造商的操作手冊中有陳述，在配管中必須使實際的NPSH大于或等于所需的NPSH，否則泵的高出率會下降。為滿足所需的NPSH貯槽中液體壓力必須高于飽和壓力(PSL)，以克服由摩擦引起的壓力損失和液體在管道中流動至泵時的冷量損失。這些可以從泵的吸入狀況中清楚地看出。低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。

低溫液體泵的故障原因泵的揚(yáng)程或流量不足。⑴電機(jī)轉(zhuǎn)速不足。⑵葉輪或管道淤塞。⑶由于密封氣壓過大，有過量的氣進(jìn)入泵內(nèi)。排除方法⑴增加轉(zhuǎn)速。⑵清洗。⑶調(diào)節(jié)密封氣壓力。吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。目前研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的。