低溫液體泵主要分離心泵和柱塞泵，離心泵流量大、壓力較低，柱塞泵流量小、壓力高。制氧廠應(yīng)用較廣，主要用于：帶液氧吸附器或上下塔分開(kāi)流程中的循環(huán)液氧泵；無(wú)氫制流程中的循環(huán)粗液泵(粗塔太高還需液空泵)；內(nèi)壓縮流程中的產(chǎn)品液氧、液氮、液泵(一般流量較低，用柱塞泵。)；灌裝沖瓶泵(柱塞泵)；槽車(chē)沖裝泵；調(diào)峰供氣泵等。

低溫液體泵的故障原因泵的揚(yáng)程或流量不足。⑴電機(jī)轉(zhuǎn)速不足。⑵葉輪或管道淤塞。⑶由于密封氣壓過(guò)大，有過(guò)量的氣進(jìn)入泵內(nèi)。排除方法⑴增加轉(zhuǎn)速。⑵清洗。⑶調(diào)節(jié)密封氣壓力。吸附材料在低溫下比無(wú)吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過(guò)表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對(duì)低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對(duì)吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。目前研究低溫泵的吸附材料主要是通過(guò)以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的。