熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)主要包括旋風(fēng)分離器、鼓風(fēng)機(jī)、空氣過(guò)濾器和加熱器等。當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開(kāi)啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。從烘干機(jī)出來(lái)的熱空氣經(jīng)旋風(fēng)分離器除去粉末后回至鼓風(fēng)機(jī)，然后經(jīng)過(guò)濾，可加熱送入烘干機(jī)內(nèi)，在循環(huán)過(guò)程中，根姻空氣的溫度，不斷排放部分循環(huán)空氣，補(bǔ)充部分經(jīng)過(guò)減濕過(guò)濾后的新鮮空，烘干機(jī)的特點(diǎn)是切片在十燥器內(nèi)呈活塞式梳丸基本上可保證切片在烘干過(guò)程小停留時(shí)間一致，烘干質(zhì)量較好，而且烘干后的切片可以寅接連續(xù)進(jìn)入螺桿擠山機(jī)料斗供紡絲使用，避免干切片回潮，且烘干機(jī)本身結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單。

采用流線(xiàn)圓弧型設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑;內(nèi)膽均為鏡面不銹鋼材料制成;工作室內(nèi)擱架可隨用戶(hù)要求任意調(diào)節(jié)高度及擱架多少;采用EBM風(fēng)機(jī)(10檔風(fēng)速調(diào)整)，微量風(fēng)循環(huán)，有利于干燥細(xì)小或粉末有關(guān)物品并且使箱內(nèi)溫度更加均勻，同時(shí)使箱內(nèi)物品蒸發(fā)的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率;合理的風(fēng)道和循環(huán)系統(tǒng)，使工作室內(nèi)的均勻度變化小。根據(jù)不同物品潮濕程度，選擇不同的干燥時(shí)間，如干燥時(shí)間較長(zhǎng)，真空度下降，需再次抽氣恢復(fù)真空度，應(yīng)先開(kāi)真空泵電源，再開(kāi)啟真空閥。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置

箱體部分

采用流線(xiàn)圓弧型設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；內(nèi)膽均為鏡面不銹鋼材料制成；工作室內(nèi)擱架可隨用戶(hù)要求任意調(diào)節(jié)高度及擱架多少；采用EBM風(fēng)機(jī)(10檔風(fēng)速調(diào)整)，微量風(fēng)循環(huán)，有利于干燥細(xì)小或粉末有關(guān)物品并且使箱內(nèi)溫度更加均勻，同時(shí)使箱內(nèi)物品蒸發(fā)的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率；合理的風(fēng)道和循環(huán)系統(tǒng)，使工作室內(nèi)的均勻度變化小。工業(yè)烘箱溫度范圍寬，控溫精度高，長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，甚至可以選擇帶真空功能的真空烘箱。

雙開(kāi)門(mén)烘箱的使用注意事項(xiàng)

1.烘箱應(yīng)安放在室內(nèi)干燥和水平處，防止振動(dòng)和腐蝕。

2.要注意安全用電，根據(jù)烘箱耗電功率安裝足夠容量的電源閘刀。選用足夠的電源導(dǎo)線(xiàn)，并應(yīng)有良好的接地線(xiàn)。

3.帶有電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)式溫控器的烘箱應(yīng)將電接點(diǎn)溫度計(jì)的兩根導(dǎo)線(xiàn)分別接至箱頂?shù)膬蓚€(gè)接線(xiàn)柱上。熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置箱體部分采用流線(xiàn)圓弧型設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。另將一支普通水l銀溫度計(jì)插入排氣閥中，（排氣閥中的溫度計(jì)是用來(lái)校對(duì)電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)和觀察箱內(nèi)實(shí)際溫度用的）打開(kāi)排氣閥的孔。調(diào)節(jié)電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)至所需溫度后緊固鋼帽上的螺絲，以達(dá)到恒溫的目的。但必須注意調(diào)節(jié)時(shí)切勿將指示鐵旋至刻度尺外。

4.當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開(kāi)啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。當(dāng)溫度達(dá)到所控溫度時(shí)，紅燈熄滅綠燈亮，開(kāi)始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。5%℃220V/380V3~5KWKQ-6050×60×505~8KWKQ-9060×90×505。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過(guò)程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。高溫烤箱的技術(shù)性能：1、電源：電壓380V、三相五線(xiàn)制，總功率120KW/臺(tái)（可根據(jù)需求訂制）。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱(chēng)為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱(chēng)為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開(kāi)門(mén)高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。