亂流式此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾

亂流式

此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈車間，并由潔凈車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈車間的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈車間等級(jí)。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①彈性擴(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵室拖把得話可以用成桶著嗎?

如果是無塵室拖把得話可以用成桶著，隨后放在角落，或是門身后，總而言之不值一提的地區(qū)就可以了！技術(shù)或訂制拖把架（不銹鋼板制為好是），那樣的話放置在許多地區(qū)都很美觀大方。假如標(biāo)準(zhǔn)容許得話就把拖把放在生產(chǎn)車間外邊啊，既能不占有生產(chǎn)車間室內(nèi)空間有能維持干躁，增加拖把使用期限。

普遍的電動(dòng)式拖把都不太好用，由于轉(zhuǎn)動(dòng)的拖頭沒法帶去廢棄物，乃至?xí)U棄物甩掉，路面有一點(diǎn)廢棄物或是頭發(fā)，就如何都拖不干凈，并且拖頭非常容易臟，拖一次地得換好數(shù)次拖把，假如光說拖地板，還比不上一般的手推式拖把功能強(qiáng)大。但是電動(dòng)式拖把也是有優(yōu)勢，那便是尤其省勁，也無需低頭，便是用2個(gè)手指頭扶著，把握一下方位，就可以拖完地，老年人小孩子都能夠用。假如把路面先掃一下或是吸塵機(jī)多吸一遍，還可以拖得較為整潔。

一般潔凈區(qū)開門方向應(yīng)是向清潔等級(jí)高的方向打開

一般潔凈區(qū)開門方向應(yīng)是向清潔等級(jí)高的方向打開，緩沖間的清潔等級(jí)同高側(cè)等級(jí)，門打開方向可均為內(nèi)開。實(shí)際以下：1、由低等級(jí)向別開。2、由氣壓小的向氣壓大氣向開（實(shí)際上非常好了解，僅有這般才可以將門關(guān)好呀）。3、消防安全規(guī)定通向省外的門，一般都向外開！

因?yàn)閮艋囬g門的承受力大而猛，在凈化車間門程的固定不動(dòng)中尤應(yīng)留意程以及洞邊附近的支撐點(diǎn)是不是堅(jiān)固平穩(wěn)。一般所提的凈化車間門的氣體泄露只不過是由所述三種間隙造成的難題。這三種結(jié)構(gòu)間隙中，凈化車間門窗大多數(shù)一同具備三類結(jié)構(gòu)間隙。一類是樘的組成拼湊和樘與凈化車間門洞間的安裝間隙。因此在凈化車間門的設(shè)計(jì)方案中針對(duì)主題活動(dòng)間隙的密封性解決是更加突顯的難題。