不同分散劑會(huì)對拋光液中磨粒的分散穩(wěn)定性產(chǎn)“生不同的影響;分散劑的質(zhì)量濃度也會(huì)對拋光液的分散穩(wěn)定性產(chǎn)“生影響。

5表面活性劑

在拋光液中加入合適的表面活性劑,能夠改善拋光液的分散穩(wěn)定性,使分散劑吸附在磨粒的表面,從而改變磨粒的表面性質(zhì),增強(qiáng)了顆粒間的排斥作用

能。但是表面活性劑的添加量也必須更具實(shí)際情況予以控制,否則會(huì)是得拋光效率變差。

拋光粉種類有稀土拋光粉、金剛石拋光粉(包括多品金剛石微粉、單品金剛石微粉、納米金剛石微粉)、氧化鋁系列微粉、氧化系列微粉、鍍衣金剛石

微粉等系列。

稀土拋光粉

系稀:土拋光粉具有較優(yōu)的化學(xué)與物理性能，所以在I業(yè)制品拋光中獲得了廣泛的應(yīng)用,如已在各種光學(xué)玻璃器件、電視機(jī)顯像管.光學(xué)眼鏡片、示波管.

平板玻璃、半導(dǎo)體晶片和金屬精密制品等的拋光。以法合成.其顆粒晶體結(jié)構(gòu)與天然的Carbonado極為相似.通過不飽和鍵結(jié)合成多晶體結(jié)構(gòu)。與

單品金剛石相比,多晶金剛石有更多的晶棱和磨削面,每條晶棱都具有切削能力,因此有很高的去除率。多品金剛石具有韌性和自銳性,在拋光過程中,

在CMP中,拋光墊具有以下功能:

(1)能貯存拋光液,并把它運(yùn)送到工件的整個(gè)加工區(qū)域,使拋光均勻;

(2)從工件拋光表面除去拋光過程產(chǎn)生的殘留物質(zhì)(如拋光碎屑、拋光墊碎片等);

(3)傳遞材料去除所需的機(jī)械載荷;

(4)維持拋光過程所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。拋光墊性能主要由拋光墊的材料種類、材料性能、表面結(jié)構(gòu)和狀態(tài)等決定。