氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

一般來說，下列一些緣故會導致溫度轉(zhuǎn)變，從而對檢測造成危害：1、充氣全過程中氣體分子結(jié)構(gòu)磨擦熱普遍狀況：充氣全過程中氣體分子結(jié)構(gòu)磨擦會造成發(fā)熱量造成，依據(jù)氣體式子PV=NRT，所知會造成檢測腔體內(nèi)部工作壓力上升，當充氣完畢后溫度又會遲緩修復到一切正常的室內(nèi)溫度，因而充氣完畢后的穩(wěn)壓管時間假如不充足，即到測試階段腔體內(nèi)部溫度仍出自于下降的回應(yīng)期，那麼從而溫度下降所造成的工作壓力下降就會立即體現(xiàn)到儀器設(shè)備所檢測的泄露量中。危害:在測試階段泄露量由大縮小直到保持穩(wěn)定。

    一般來說，下邊緣故會導致溫度轉(zhuǎn)變，從而對測試造成危害測試產(chǎn)品本身帶有溫度普遍狀況：機械加工出去的工件歷經(jīng)簡易清理立即進到測試工裝夾具，工件自身還帶有較高的溫度。冬季放到戶外的工件立即取得房間內(nèi)后就開展測試。危害：帶有較高溫度的工件在開展測試時候?qū)Τ溥M的汽體不斷長時間的加溫，在測試環(huán)節(jié)產(chǎn)品內(nèi)部的氣體壓力會居高不下，測試結(jié)果出現(xiàn)負值。立即由超低溫自然環(huán)境取得高溫自然環(huán)境測試的產(chǎn)品，因為溫度的區(qū)別，和測試時間的不一樣將會會出現(xiàn)泄露質(zhì)量互變規(guī)律大，也將會會出現(xiàn)測試負值的不一樣狀況。

氣密性檢測設(shè)備故障處理

1.OK 產(chǎn)品被判定為 NG

做法：把儀器后面連接標準品和測試品的氣管堵住，然后按啟動按鈕開始測試，看泄漏量判斷儀器是否有問題，如果沒有泄漏則不是儀器問題，便可以排查夾具，看看是不是夾具松動或者沒有夾緊導致的泄漏。

2.儀器無法啟動

首先確認一下治具光柵是否正確連接儀器，如不需要光柵則需要在功能設(shè)置界面把關(guān)閉安全光柵勾選上。

3.治具氣缸無動作，或動作之后儀器一直未進入充氣流程

氣缸無動作需要確認儀器與治具連接線是否導通，氣缸氣管是否連接正常。氣缸動作之后未進入充氣流程可能由于未給儀器接點感知信號，不需要勾選感知信號對應(yīng)的勾選框。