真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

真空箱檢漏儀真空箱檢漏儀

一個(gè)真空系統(tǒng)，經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后，仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度，可能的原因有:抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身的問(wèn)題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問(wèn)題，即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問(wèn)題是否存在。確定漏氣率。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。找出泄漏部位，以便修補(bǔ)堵漏。

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真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向）⑺對(duì)于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。

有漏氣必有漏孔，真空技術(shù)中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形狀各不相同，漏氣路徑也各式各樣。漏孔常出現(xiàn)在焊縫搭頭、應(yīng)力集中、彎折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清潔、工藝規(guī)范不當(dāng)、結(jié)構(gòu)不合理、安裝不仔細(xì)等原因造成。

漏孔的幾何尺寸很小，肉眼不能察覺(jué)，加之漏氣路徑各式各樣，截面形狀又很復(fù)雜，所以漏孔的大小極難用其幾何尺寸來(lái)度量，在真空技術(shù)中漏孔的大小有專門(mén)的表示。

由氣體定律PV=M Rt/μ可知，當(dāng)溫度一定時(shí)，氣體的質(zhì)量M可以用氣體的壓強(qiáng)和體積的乘積PV(即氣體量)來(lái)表示，而PV又是容易測(cè)量的，所以漏孔的大小可以用單位時(shí)間漏入系統(tǒng)的氣體量(PV)來(lái)表示，亦稱漏率。其物理意義為壓強(qiáng)×體積/時(shí)間。漏率的國(guó)際單位為"瓦特"(W)或帕·立方米/秒(Pa·m3/s)。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

漏孔的漏率也就是通過(guò)漏孔的氣體流量，這個(gè)氣體流量受環(huán)境溫度、漏孔兩端的壓差和氣體種類等因素的影響。因此為了客觀地反映漏孔的大小，就必須考慮到上述三個(gè)因素。一般為了設(shè)計(jì)、計(jì)算和運(yùn)用方便起見(jiàn)，將漏孔的漏率定義為:在環(huán)境溫度23℃條件下，漏孔的一端為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，而另一端為真空狀態(tài)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔的空氣的氣體量。因?yàn)樗哂畜w積小、質(zhì)量輕、操聲低等優(yōu)點(diǎn)，所以更適宜于實(shí)驗(yàn)室里使用。

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。⑸按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。

氦質(zhì)譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體，對(duì)真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，其測(cè)量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。真空度單位通常用托（Torr）為單位，國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。

真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。真空箱檢漏儀真空箱檢漏儀（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。5溫升（℃）≤40進(jìn)氣口徑(mm)182540406580轉(zhuǎn)速(r/min)450590420用油量(L)0。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真

空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過(guò)對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過(guò)測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過(guò)檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這個(gè)本底雖可通過(guò)置零來(lái)清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。