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新模式是徹底顛覆初中過濾的傳統(tǒng)模式,采用逆向液體高壓噴淋模式,同步動(dòng)態(tài)消毒、自動(dòng)除塵,形成交叉縱橫系統(tǒng),即為新風(fēng)進(jìn)入機(jī)組先是消毒、除塵,是避免管道積塵及二次污染;回風(fēng)進(jìn)入機(jī)組后,通過除塵、消毒后達(dá)標(biāo)排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問題,做到了恒效運(yùn)行、自動(dòng)除塵、節(jié)能減排及削減成本。
傳統(tǒng)初中過濾的凈化方式:市場認(rèn)可度高,也是無塵車間凈化空氣、去除分子污染的唯1方式,且過濾器市場已經(jīng)形成密而細(xì)的龐大產(chǎn)業(yè)鏈。現(xiàn)在,在數(shù)個(gè)企業(yè)應(yīng)用了恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng),做到了在動(dòng)態(tài)1萬等級潔凈度不用任何初中過濾器,同步動(dòng)態(tài)消毒,并能有效避免傳統(tǒng)方式的微生物二次污染、管道積塵、頻繁濾材更換等缺陷。因此,這兩種凈化方式不在一個(gè)技術(shù)層次上,無法比較,只能說后者顛覆前者并取代前者,使無塵車間技術(shù)更還更快的發(fā)展。
無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。
對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s