一. 工業(yè)烤箱是一種用于對(duì)于生產(chǎn)過程中用于產(chǎn)品加熱老化烘烤設(shè)備。本產(chǎn)品具有安全性好，潔凈度高,節(jié)能效果優(yōu)，保溫性佳，溫度均勻性好。大多應(yīng)用于烘烤光學(xué)光纖,精密電子及醫(yī)l藥器材等欲烘烤物品的烘干或溫升處理等。廣泛用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)l藥、光學(xué)、航空及軍l工科研實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥的要求。具有獨(dú)特設(shè)計(jì)的強(qiáng)鼓風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)確保了溫度的穩(wěn)定性，高l效循環(huán)過濾系統(tǒng)確保箱內(nèi)的潔凈度,控溫裝置采用PID數(shù)顯控溫(可選觸摸屏等)，直觀醒目，設(shè)有可靠性保護(hù)裝置。

二.循環(huán)方式及工作原理：

 本設(shè)備是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)、強(qiáng)度、保溫、風(fēng)路循環(huán)等皆設(shè)計(jì)精良，且外形美觀、操作方便。熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，當(dāng)門開、關(guān)動(dòng)作引起擾動(dòng)時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值,使溫度更均勻。

真空干燥箱操作方法：

 當(dāng)所需工作溫度較低時(shí)，可采用二次設(shè)定方法，如所需溫度60℃，第l一次可設(shè)定50℃，等溫度過沖開始回落后，再第二次設(shè)定60℃。這樣可降低甚至杜絕溫度過沖現(xiàn)象，盡快進(jìn)入恒溫狀態(tài)。

根據(jù)不同物品潮濕程度，選擇不同的干燥時(shí)間，如干燥時(shí)間較長(zhǎng)，真空度下降，需再次抽氣恢復(fù)真空度，應(yīng)先開真空泵電源，再開啟真空閥。

干燥結(jié)束后應(yīng)先關(guān)閉干燥箱電源，開啟放氣閥，解除箱內(nèi)真空狀態(tài)，再打開箱門取出物品。(解除真空后，如密封圈與玻璃門吸緊變形不易立即打開箱門，經(jīng)過一段時(shí)間后，等密封圈恢復(fù)原形后，才能方便開啟箱門。)

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。