擴散硅壓阻傳感器的發(fā)展與現(xiàn)狀  

固態(tài)壓阻傳感器自 1967年美國的庫利特半導(dǎo)體公司首先為波音公司研制 , 成功用于風(fēng)洞測試 , 1970年法國斯魯母貝格公司生產(chǎn)并用于協(xié)和式大型客機和阿波羅飛船中 , 國外將其首先用于航空和宇航等軍事工業(yè)中 , 由于其自身的優(yōu)點十分引人注目 , 因此 , 近年來 , 美、 日、 德、 法、 英等許多儀器儀表制造廠紛紛研制生產(chǎn)。我國從七十年代初開始研究并取得了較好的成果 , 壓阻傳感器本身已經(jīng)歷了從結(jié)構(gòu)型到物性型至今天的智能型三個發(fā)展階段。  隨著科學(xué)技術(shù) , 特別是微電子和計算機技術(shù)的發(fā)展 , 壓阻傳感器的靈敏度、 精度和可靠性及信息傳輸功能大大提高 , 從而擴大了人們對各種現(xiàn)象和過程的觀測范圍和控制范圍。  由于擴散硅壓阻傳感器具有廣泛的應(yīng)用前景 , 因而壓阻傳感器的競爭也十分激烈。 元器件的品種增多 , 溫壓范圍已經(jīng)拓展: 已有微壓、 表壓、 高壓、 絕壓、 差壓等力敏元件及其配套儀表問世。每年世界性固態(tài)壓力傳感器專利有幾十項。 潛在功能比較大 , 既可以代替人類五官感覺的功能 , 也能檢測人類不能感覺的信息。

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擴散硅壓力傳感器的基本原理

壓力傳感器的制造中一般利用集成電路平面工藝，用雜志擴散或離子注入的方法形成電阻器。擴散層被用來作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器，電流邊與擴散層被用來作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器，電流便與擴散層表面平行流過電阻器。在壓力傳感器的設(shè)計。制造時，需要了解不同溫度下硅擴散層的壓阻特性，選擇合適的擴散條件，選用一定型號、晶向的擴散電阻以獲得較高的靈敏度和曉得靈敏度系數(shù)，力求使壓力傳感器有良好的性能。

擴散層的平均壓阻系數(shù)：擴散層中雜質(zhì)往往呈誤差函數(shù)（恒定表面源條件下）或余誤差函數(shù)（恒定表面濃度條件）分布。也就是說，表面雜質(zhì)濃度高，電流便呈現(xiàn)不均勻分布。雖然應(yīng)力在電阻的縱剖面是均勻分布的，而壓阻系數(shù)取決于雜質(zhì)濃度。以此在擴散層上電阻的改變的百分量是不同的。這又使擴散層中電流在縱向中心分布并造成壓阻值和應(yīng)力之間的非線性。

擴散層硅的電阻溫度特性與壓力傳感器的熱零點漂移以及熱靈敏度有密切的關(guān)系。

擴散硅壓力傳感器的應(yīng)用

擴散硅壓力傳感器主要應(yīng)用于供熱,制冷，化工，煤炭，石油，食品加工，供水等行業(yè),可以這么說，凡是自動化要求比較高的的行業(yè)，等可能會用到擴散硅壓力傳感器。由于擴散硅傳感器本身的特性，它不能用于高溫和低溫介質(zhì)的測量。

擴散硅壓力傳感器在生活中為我們提供了很多的便利，工作原理也不難理解，應(yīng)用范圍很廣泛，以上就是小編為大家介紹的擴散硅壓力傳感器工作原理及使用注意事項的內(nèi)容，希望對大家有所幫助。