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傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機(jī)械連鎖裝置,可有效的防止低潔凈等級(jí)區(qū)內(nèi)的灰塵帶入高潔凈區(qū)內(nèi),是凈化車間必備佳品。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價(jià)。一般潔凈度級(jí)別高于5級(jí)的潔凈室均采用單向流,其中以垂直單向流,但造價(jià)也。合理的氣流組織,即通過送風(fēng)口與回風(fēng)口位置、大小、形式的精心設(shè)計(jì),使室內(nèi)氣流沿一定方向流動(dòng),防止死角及造成二次污染。
潔凈度級(jí)別為6~9級(jí)的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內(nèi)空氣的流動(dòng)要有一定速度,才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價(jià)。一般潔凈度級(jí)別高于5級(jí)的潔凈室均采用單向流,其中以垂直單向流,但造價(jià)也。
在工作中,工作人員應(yīng)當(dāng)盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù),如果可以,還是采取全自動(dòng)的生產(chǎn)流程。進(jìn)入潔凈室的人與物的凈化。盡量采用產(chǎn)生污染物質(zhì)少的工藝及設(shè)備,或采取必要的隔離和負(fù)壓措施,防止生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的污染物質(zhì)向周圍擴(kuò)散。無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)是核心。