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工業(yè)氣體在各行業(yè)中的應(yīng)用!
工業(yè)氣體的應(yīng)用范圍非常廣泛,種類也非常豐富,包括氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。這些氣體各自具有不同的化學(xué)性質(zhì),應(yīng)用環(huán)境也各不相同,在國民經(jīng)濟(jì)中也具有舉足輕重的作用。
工業(yè)氣體用量的傳統(tǒng)行業(yè)主要有:煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等,包括石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)焊接、金屬熱處理等。由于這些產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅猛,這些氣體的用量也隨之增加。
隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進(jìn)人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體制造的整個(gè)過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
一。規(guī)范的制造方式
制造方式也關(guān)系到二氧化碳鋼瓶的平安性性。 在制造技術(shù)方面,所有的二氧化碳鋼瓶必須利用固態(tài)鋼材拉制(Drawing)而成,或者是由無縫鋼管制成。鋼瓶的兩端不能是利用焊接方法接上,而且在封瓶過程中也不得添加任何其他金屬。因劣質(zhì)鋼瓶大多數(shù)都是焊接磨平再上漆,從外觀上很難辯識,使大多數(shù)水族愛好者不明了它存在的危險(xiǎn)性。
二、耐高壓性
二氧化碳鋼瓶瓶壁的厚度是決定鋼瓶是否能耐高壓的關(guān)鍵所在,其厚度需使鋼瓶所能承受的壓力可適合在任何情況下使用。尤其是鋁合金制作的二氧化碳鋼瓶,因材質(zhì)較軟,除非鋼瓶瓶壁的厚度超過1公分以上,否則會有平安性上的顧慮。