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一、當氫能作為一種燃料時,必然具有分散性及間歇性使用特點,因此必須解決儲存及運輸問題。儲氫、輸氫技術(shù)要求能量密度大,儲氫及放氫所耗能量少、安全性好,并符合車載狀況的要求等。目前均已試驗了以高壓氫、儲氫材料儲氫和液氫為燃料的樣車,已使燃料電池電動車實現(xiàn)了真正的排放。
建立氫供給的公用設(shè)施方面,美國加得、加利福尼亞州已決定年秋在西薩克拉蒙多建造氫氣加注站,為在城市試驗的臺質(zhì)子交換膜燃料電池為動力的電動車加注燃料。日本也有這方面的計劃準備實施。但好的方法是利用重整制氫技術(shù),這樣可利用現(xiàn)有的加注的公用設(shè)施,不必新建燃料的供給設(shè)施,進行復雜的改造,而且的能量要比天然氣和甲醇高。該項技術(shù)如果得以突破,則以質(zhì)子交換膜燃料電池為動力的電動車可與內(nèi)燃機車共用加油系統(tǒng)。
氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無油,有毒氣體使用時不可放在屋內(nèi),要有專門的氣體放置區(qū),腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲存區(qū)要嚴禁明火、嚴禁吸煙。
一、氣體和氧化性氣體使用時使用人員千萬不可自己混合,如需混合氣體需有技術(shù)條件的廠家來提供。
二、 氣體使用時所能接觸的材料,不能有和此種氣體不相容或起反應的材料。
三、使用人員要按照所使用氣體質(zhì)做的性必要的防護措施(穿戴護照的安全眼睛、防毒面具、相應材料的防護服、皮手套等),廢氣要按照合適的方法處理。
四、氣體要在保質(zhì)期內(nèi)使用,不可超期使用。
五、 氣體使用期間,如發(fā)現(xiàn)問題應立即停止使用,待問題調(diào)查清楚并解決后方可繼續(xù)使用,如屬于氣體性質(zhì)原因所引起,應終止使用,把剩余氣體按合適方法處理
隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴格,已達到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對半導體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導致半導體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。