腐蝕性能較強的氣體時，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴重時會出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發(fā)生變化。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。

對于高純氣體及特種氣體輸送管道，必需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，使高純管道系統(tǒng)在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的使命。

特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理

超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,特種氣體指出，該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。

二、有毒氣體,半導體氣體很多是對人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；

三、助燃氣體,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃氣體接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲運使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體；

四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當它們排放在不通風的場所時,空氣中氧含量降到18%以下時,因缺氧會使人呼吸困難，若不能及時解救也會有危險甚至，這類氣體有氮氣、氬氣二氧化碳、氦氣等。

五、腐蝕性氣體，通常遇水就顯示其腐蝕性，如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時兼有多種性質(zhì)，在這些氣體輸送、儲運、使用中應(yīng)予重視。

半導體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多，而且更重要的是對氣體品質(zhì)在很嚴格的要求。