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?標(biāo)準(zhǔn)氣體的特殊性
標(biāo)準(zhǔn)氣體的特殊性,對(duì)采樣有著特殊的要求,很多使用者由于采樣的不規(guī)范,使得數(shù)據(jù)偏差很大,在這里我提供樣品取樣應(yīng)該注意的方面:取樣管線的選擇,由于膠管使用起來(lái)很方便,很多傳統(tǒng)的進(jìn)樣管線都采用此類,但是眾所周知,膠管對(duì)大部分有機(jī)氣體,和含硫類的氣體吸附性非常強(qiáng),而且它的滲透性也很強(qiáng),所以使用各類膠管來(lái)采樣是不可取的,對(duì)分析數(shù)據(jù)造成很大偏差。建議根據(jù)不同的氣體性質(zhì)采用銅管、不銹鋼管、四氟管而對(duì)于含硫的標(biāo)準(zhǔn)氣和樣品氣采用內(nèi)涂石英的不銹鋼管。什么是高純氣體
高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度),微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在低限度,其粒度也應(yīng)是小的(潔凈度)。因此,對(duì)于高純氣體,純度、干燥度、潔凈是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。特別是近10年來(lái),隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對(duì)高純氣體潔凈度的要求,其重要程度已不亞于對(duì)純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝,無(wú)一不對(duì)其中的粒子提