烘箱選型依據及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內的均勻性、 溫控系統也是要求較高。當需要觀察工作室內樣品情況時，可開啟外道箱門，透過玻璃門觀察。 烘箱的生產廠家國內和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度考慮， 則把國內生產的烘箱放在首 位， 因為不論是售后服務還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產生的顆粒度。

烘箱的加熱

從里到外有內腔、內殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層，內膽熱量損失少。內膽外箱及門膽機構獨特，極大減少了內腔熱量的外傳。烘箱內膽分鍍鋅一板及不銹鋼板材制作而成，外殼為冷軋板烤漆，全觸控式面板，微電腦PID與SSR控制，LED雙數字顯示屏，LED數字顯示型計時器，獨立的超溫保護，自我診斷功能。箱門內外基本分離，外箱與內膽分離定位，所以在高溫下外殼也不會發(fā)燙。采用數顯溫控系統，微電腦智能控制，設定溫度后，儀表自行控制加熱功率，并顯示加熱狀態(tài)，控溫精1確而穩(wěn)定?？稍O定溫度、時間。一經設定，加熱過程自動進行，不需干預。

蒸汽烘箱

蒸汽烘箱，又可以叫做蒸汽加熱烘箱，其由角鋼、不銹鋼板以及冷1鋼板構成。保溫層則由高密度硅酸鋁棉填充，高密度硅酸鋁棉保證了烘箱的保溫性，也確保了使用者的安全性。烘箱選型依據及理由因為烘箱用在光刻工藝，所以對其的潔凈度要求比較高，同時用于膜的固化等工藝，保持片內的均勻性、溫控系統也是要求較高。加熱器安裝位置可是底部、頂部或兩側。用數顯智能儀表來控制溫度。蒸汽烘箱風道設計有兩種：水平送風和垂直送風!

蒸汽烘箱特點：

1、熱風在烘箱內循環(huán)，熱效率較高，節(jié)約能源。

2、利用強制通風作用，烘箱內設有風道，物料干燥均勻。 3、烘箱運轉平穩(wěn)。自動控溫，安裝維修方便。

4、適用范圍廣，可干燥各種物料，是理想的通用干燥設備。