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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成?! ?
脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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