現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法

涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法，該儀器可以直接驅(qū)動的蒸發(fā)源，通過PID控制回路傳動擋板，使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準確性是有限的，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。

此外，雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定，但溫度高，它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中，鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區(qū)域，導致薄膜的重大錯誤。光學監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式，鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。

精度的提高，由于許多因素，但根本的原因是光學厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學監(jiān)測系統(tǒng)，是間接控制，鍍膜機先進的光學監(jiān)測軟件結(jié)合王博士的發(fā)展，有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法，提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。

什么是真空鍍膜設備的虛漏及漏孔？

一、虛漏：

虛漏是由于設計或制造加工工藝不當，在真空鍍膜設備內(nèi)形成貯存氣源的洞穴，這些氣體在真空環(huán)境下慢慢釋放出來，形同漏氣，簡稱虛漏。

例如，真空鍍膜設備內(nèi)的緊固螺釘沒有出氣孔，焊縫交叉設計，焊接不完善留有孔穴等都會造成虛漏現(xiàn)象。

二、漏孔：

漏孔是真空鍍膜設備內(nèi)的電真空器件中直徑微米數(shù)量級的小漏孔，空氣中的塵?；蛞后w都很容易造成漏孔的堵塞，這些就算你當時修理好了也是暫時性的，檢漏時好像不漏，但經(jīng)過抽氣之后，又會出現(xiàn)漏氣。

所以為了檢查，一定要仔細處理好檢漏部位，盡量不用手去摸被檢測區(qū)域，避免塵?；蛴椭氯┛?。

真空鍍膜機是如何操作真空電阻式蒸發(fā)鍍膜機的

隨著真空鍍膜機的工藝發(fā)展不斷革新，而硬質(zhì)薄膜的設計向著多元化、多層膜的方向發(fā)展。成為現(xiàn)代企業(yè)優(yōu)選的鍍膜工藝。今天我們通過中國真空協(xié)會的專家剖析后，給予詳細作答。其實鍍膜機的正常操作方法應該參考操作手冊的指示操作。

不過大致的操作程序，我們簡單的說一下吧：

1、檢查真空鍍膜設備各操作控制開關是否在;關位置。

2、打開總電源開關，真空鍍膜設備送電。

3、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。

5、落下鐘罩。

6、啟動真空鍍膜設備抽真空機械泵。

7、開復合真空計電源（復合真空計型號：Fzh-1A)。

8、多弧離子鍍膜機當?shù)驼婵毡?amp;ldquo;2”內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。

9、真空鍍膜設備開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

10、低壓閥拉出。立式單開門鍍膜機重復一次⑦動作程序：左下旋鈕;轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表;內(nèi)指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥。

真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設備正常工作時,主開關電路中的開關管處于飽和導通狀態(tài),管壓降保持在100V左右,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測電路R21上得到的電壓控制信號不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于截止狀態(tài),而BG11、BG12、BG13處于導通狀態(tài),由BG11輸出一個2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10得到2.5V的電壓控制信號而處于導通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開關管通過D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時BG7、BG8也處于導通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導通,提供主開關管柵極恒定的電流。由于BG10處于導通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號UR2的控制。當UR2<UD2時,輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。

在真空鍍膜設備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定值,主開關管處于截止狀態(tài),承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路R21取得的過流信號,使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于導通狀態(tài),C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號而截止,BG9立刻導通,550V正端通過BG9接到主開關管的陰極,負端通過D5管接到主開關管的柵極,主開關管得到-550V偏壓而進入深度截止,此時高壓就沒有指示了。