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發(fā)布時(shí)間:2020-11-07 11:59  






下游發(fā)展趨勢(shì)

光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。光刻工藝的成本約為整個(gè)芯片制造工藝的35%,并且耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)芯片工藝的40%到50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%,市場(chǎng)巨大。因此光刻膠是半導(dǎo)體集成電路制造的核心材料。2016年全球半導(dǎo)體用光刻膠及配套材料市場(chǎng)分別達(dá)到14.5億美元和19.1億美元,分別較2015年同比增長(zhǎng)9.0%和8.0%。預(yù)計(jì)2017和2018年全球半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)將分別達(dá)到15.3億美元和15.7億美元。顯示器,OLEDs,波導(dǎo)(waveguides),VCSELS,成像,電鍍,納米碳管,微流體,芯片倒裝等方面。隨著12寸先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)生產(chǎn)線的興建和多次曝光工藝的大量應(yīng)用,193nm及其它先進(jìn)光刻膠的需求量將快速增加


全球市場(chǎng)

目前,光刻膠單一產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模與海外巨頭公司營(yíng)收規(guī)模相比較小,光刻膠僅為大型材料廠商的子業(yè)務(wù)。但由于光刻膠技術(shù)門檻高,就某一光刻膠子行業(yè)而言,僅有少數(shù)幾家供應(yīng)商有產(chǎn)品供應(yīng)。

由于光刻膠產(chǎn)品技術(shù)要求較高,中國(guó)光刻膠市場(chǎng)基本由外資企業(yè)占據(jù),國(guó)內(nèi)企業(yè)市場(chǎng)份額不足40%,高分辨率的KrF和ArF光刻膠,其核心技術(shù)基本被日本和美國(guó)企業(yè)所壟斷,產(chǎn)品也基本出自日本和美國(guó)公司,包括陶氏化學(xué)、JSR株式會(huì)社、信越化學(xué)、東京應(yīng)化工業(yè)、Fujifilm,以及韓國(guó)東進(jìn)等企業(yè)。為了保證線寬的重復(fù)性和接下去的顯影時(shí)間,同一個(gè)樣品的膠厚均勻性和不同樣品間的膠厚一致性不應(yīng)超過±5nm(對(duì)于1。

而細(xì)化到半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng),國(guó)內(nèi)企業(yè)份額不足30%,與國(guó)際水平存在較大差距。超過80%市場(chǎng)份額掌握在日本住友、TOK、美國(guó)陶氏、美國(guó)futurrex等公司手中,國(guó)內(nèi)公司中,蘇州瑞紅與北京科華實(shí)現(xiàn)了部分品種的國(guó)產(chǎn)化,但是整體技術(shù)水平較低,僅能進(jìn)入8英寸集成電路生產(chǎn)線與LED等產(chǎn)線。問題回饋:1.我們是LED制造商,麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。


光刻膠的重要性

在北京化工大學(xué)理學(xué)院院長(zhǎng)聶俊眼里,我國(guó)雖然已成為世界半導(dǎo)體生產(chǎn)大國(guó),但面板產(chǎn)業(yè)整體產(chǎn)業(yè)鏈仍較為落后。目前,上游電子化學(xué)品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴進(jìn)口,必須加快面板產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心材料基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,才能支撐我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展及國(guó)際“地位”的確立。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國(guó)產(chǎn)化就遙遙無期。

“假如我們把光刻機(jī)比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴。”日前,江蘇博硯電子科技有限公司技術(shù)部章宇軒在接受科技日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)說。


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