特種氣體的作用：

1、反應(yīng)及中和介質(zhì)，在精細化工、生物醫(yī)1療中用于反應(yīng)、保護等。

2、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1療殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮氣、激光混合氣等用于醫(yī)1療設(shè)備。

4、綜合手段與介質(zhì)，應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護、核反應(yīng)堆的保護、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理，完成被檢件的氦走漏量丈量。特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工供氣系統(tǒng)的選擇簡單供氣系統(tǒng)簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，走漏出來的氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。

特種氣體的殺菌

影響滅菌的因素　　

溫度：

　　溫度的常規(guī)極限一般在37℃～63℃，1常用的溫度一般為50±5℃。但是當(dāng)溫度高到足以使藥1物發(fā)揮1大作用時，在升高溫度，則殺菌效果亦不再提高。②高壓氣體輸運監(jiān)視人學(xué)習(xí)結(jié)業(yè)證(必要時)}③輸運計劃書(或輸運注意事項)，：④車輛運行日記及其它業(yè)務(wù)上必要的文件。滅菌溫度的確定同以下條件有關(guān)：1）所滅產(chǎn)品的溫度耐受性。2）裝載量及裝載方式，要求裝載量≤80%，不接觸柜壁，各箱體之間有不小于5cm的間隙。3）包裝材料的厚度、大小，堆積密度。

電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。然后取出被檢產(chǎn)品，將外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會經(jīng)過漏孔走漏到真空容器，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝中，與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。