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電子束原理介紹
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電子在電場(chǎng)中會(huì)受力而得到加速、提高能量,產(chǎn)生電子束。電子束焊原理一臺(tái)電子增速器,注入的電子能量為20GeV(1GeV=109 eV,也就是10億電子伏特),相應(yīng)的電子速度為0.99999999979倍光速。電子經(jīng)增速器加速后,能量可達(dá)到100GeV,電子速度達(dá)到0.999999999987倍的光速。這說明,電子在這臺(tái)增速器里速度幾乎沒有增加,而能量增加了4倍。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物(ITO等氧化物)/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。
電子束鍍膜原理
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電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料,電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發(fā),并成膜。電子槍有直射式、環(huán)型和E型之分。電子束加熱蒸鍍的特點(diǎn)是能獲得極高的能量密度,可達(dá)109w/cm2,加熱溫度可達(dá)3000~6000℃,可以蒸發(fā)難熔金屬或化合物;被蒸發(fā)材料置于水冷的坩堝中,可避免坩堝材料的污染,制備高純薄膜;另外,由于蒸發(fā)物加熱面積小,因而熱輻射損失減少,熱效率較高。但結(jié)構(gòu)較復(fù)雜,且對(duì)較多的化合物,由于電子的轟擊有可能分解,故不適合多數(shù)化合物的蒸鍍。它是在高真空條件下,通過加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜,在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。
雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹
電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式,它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料,它的工作方式是:將鍍膜材料放在坩堝里面,將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀,采用一專門的控制柜,對(duì)燈絲加一強(qiáng)電流,高電壓,由于燈絲的材料是鎢,所以它會(huì)發(fā)熱,然后會(huì)發(fā)射電子,再采用一定的磁場(chǎng)將其聚集成一定形狀,并牽引到坩堝上,這樣就形成了一股電子束,由于電子束溫度非常高,可以熔化任何鍍膜藥材,當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子)在真空中成直線運(yùn)動(dòng),然后遇到基板,就凝結(jié)下來,經(jīng)過這種方式生長(zhǎng),形成薄膜!現(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計(jì)算機(jī)顯示器所用的顯像管就是一臺(tái)小小的電子增速器。
常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度,、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度,運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。
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