細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒、真菌、螨蟲）在相對濕度超越60%的環(huán)境中能夠活躍地繁衍。一些菌群在相對濕度超越30%時(shí)就能夠添加。在相對濕度處于40%至60%的規(guī)模之間時(shí)，能夠使細(xì)菌的影響以及呼吸道gan染降至低。相對濕度在40%至60%的規(guī)模相同也是人類感覺舒適的適度規(guī)模。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚裂，呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實(shí)際上減小了無塵車間、潔凈室外表的靜電荷堆集——這是大家期望的成果。較低的濕度比較合適電荷的積江西并成為潛在的具有破壞性的跟電釋放源。當(dāng)相對濕度超越50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，可是當(dāng)相對濕度小于30%時(shí)，它們能夠在絕緣體或許未接地的表成上持續(xù)存在很長一段時(shí)刻。

無塵車間對潔凈室的需要以及對無塵車間潔凈度的要求，取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護(hù)水平，連同其它所有組成部分對潔凈度的整個(gè)要求一并考慮，是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實(shí)的觀點(diǎn)看，保證對一個(gè)特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù)，控制室內(nèi)溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內(nèi)粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設(shè)備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風(fēng)過濾器的數(shù)量。需要通盤考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項(xiàng)、ren流及物流的通道。

無塵室的平面裝備幾種方法：1.外廊盤繞式：外廊能夠有窗或無窗，以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，而通常選用10萬級和外窗有必要是雙層密封窗。2.內(nèi)廊盤繞式：無塵室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度等級通常需較高，乃至和無塵室同樣的等級，此外無塵室設(shè)在外圍時(shí)，需注意并無外窗設(shè)置。3.兩頭式：無塵室設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用居室。4.基地式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠?qū)o塵區(qū)設(shè)在基地，上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來，削減與外氣的熱交換。