熱處理廠認為真空滲碳是在探求高溫滲碳的可能性的基礎上發(fā)展起來的。高溫滲碳在真空狀態(tài)下之所以可能，是由于現代真空滲碳爐的結構和構件材質已能適應高溫滲碳的要求。

高溫滲碳熱處理可以顯著地縮短滲碳時間。這是因為在高的滲碳溫度下，奧氏體對碳具有更高的溶解度，而使用的滲碳氣又能充分供給活性碳原子。還因為高溫滲碳可顯著提高碳在鋼中的擴散速度。再有，零件是在真空狀態(tài)下進行加熱升溫的，產生了脫氣、去除氧化物等效果，從而使零件表面活化，使碳原子的吸收過程加速。

1.提高零件的耐磨性，采用鋼件滲碳淬火法可獲得高碳馬氏體硬化表層；合金鋼件用滲氮方法可獲得合金氮化物的彌散硬化表層。用這兩種方法獲得的鋼件表面硬度分別可達HRC58～62及HV800～1200。另一途徑是在鋼件表面形成減磨、抗粘結薄膜以改善摩擦條件，同樣可提高耐磨性。例如，蒸汽處理表面產生四氧化三鐵薄膜有抗粘結的作用；表面硫化獲得硫化亞鐵薄膜，可兼有減磨與抗粘結的作用。近年來發(fā)展起來的多元共滲工藝，如氧氮滲，硫氮共滲，碳氮硫氧硼五元共滲等，能同時形成高硬度的擴散層與抗粘或減磨薄膜，有效地提高零件的耐磨性，特別是抗粘結磨損性。2.提高零件的疲勞強度，滲碳、滲氮、軟氮化和碳氮共滲等方法，都可使鋼零件在表面強化的同時，在零件表面形成殘余壓應力，有效地提高零件的疲勞強度。3.提高零件的抗蝕性與抗高溫氧化性，例如，滲氮可提高零件抗大氣腐蝕性能；鋼件滲鋁、滲鉻、滲硅后，與氧或腐蝕介質作用形成致密、穩(wěn)定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保護膜，提高抗蝕性及高溫性。通常，鋼件硬化的同時會帶來脆化。用表面硬化方法提高表面硬度時，仍能保持心部處于較好的韌性狀態(tài)，因此它比零件整體淬火硬化方法能更好地解決鋼件硬化與其韌性的矛盾?；瘜W熱處理使鋼件表層的化學成分與組織同時改變，因此它比高、中頻電感應、火焰淬火等表面淬火硬化方法效果更好。如果滲入元素選擇適當，可獲得適應零件多種性能要求的表面層。

6、采用高溫和真空化學熱處理　　高溫化學熱處理就是在設備使用溫度允許及所滲鋼種奧氏體晶粒不長大條件狹，提高化學熱處理溫度，從而大大加速滲碳的速度。把滲碳溫度從930℃提高到 1000℃，可使?jié)B碳速度提高2倍以上。 但由于還存在許多問題，今后的發(fā)展有限。真空化學熱處理是在負壓的氣相介質中進行。由于在真空狀態(tài)下工件表面凈化， 以及采用較高的溫度， 因而大大提高了滲速。如真空滲碳可提高生產率 1～2 倍； 在 133.3×（10-1～10-2）Pa下滲鋁、鉻，滲速可提高 10 倍以上。