光波超精密——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。同時(shí)還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過(guò)節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)氣隙中的壓力，使導(dǎo)軌具有剛度?？諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌

平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢(shì)，隨著移動(dòng)速度的增加先下降到一個(gè)zui低值，然后逐漸上升到一個(gè)平衡值，但不隨移動(dòng)速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因?yàn)闇y(cè)量機(jī)移動(dòng)時(shí)的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動(dòng)力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動(dòng)部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會(huì)隨著測(cè)量機(jī)測(cè)量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的zui優(yōu)測(cè)量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了這一點(diǎn)。當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來(lái)決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。由于導(dǎo)軌油中的硫、磷等抗磨劑在切削液中主要成分為水的作用下被水解，硫、磷等成分嚴(yán)重腐蝕鋼鐵零件。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

光波超精密技術(shù)研究院——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌

空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。光波超精密——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌使用直線導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：省去全套壓縮空氣設(shè)備和氣動(dòng)控制組件，成本更低，適合使用在無(wú)氣源環(huán)境中。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生空氣摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤(rùn)滑作用。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌

大尺寸精密花崗石氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)基準(zhǔn)工作平臺(tái)，主要用于大尺寸測(cè)量設(shè)備的示值校準(zhǔn)。通過(guò)拓展（安裝長(zhǎng)度基準(zhǔn)器激光或光柵）常應(yīng)用于大尺寸測(cè)量設(shè)備（如：激光跟蹤儀）的距離示值校準(zhǔn)、空間尺寸測(cè)量示值校準(zhǔn)、動(dòng)態(tài)示值校準(zhǔn)；激光準(zhǔn)直儀的準(zhǔn)直精度調(diào)試及校準(zhǔn)；手持式激光掃描儀、激光測(cè)距儀的定位精度校準(zhǔn)；通過(guò)安裝影像系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線紋尺、鋼卷尺等測(cè)量?jī)x器和設(shè)備的測(cè)試與校準(zhǔn)等。光波超精密——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)主要有如下特點(diǎn)：因?yàn)榭諝獾恼承韵禂?shù)低于1/50，而粘度對(duì)溫度、壓力變化不敏感，所以空氣靜壓導(dǎo)軌的摩擦阻力很小，幾乎是不變的。

直線型導(dǎo)軌的精度也各有不同，如機(jī)床行業(yè)對(duì)加工工件的精度要求較高，所以一般都會(huì)選擇 H級(jí)以上精密級(jí)直線型導(dǎo)軌，而自動(dòng)化行業(yè)一般只需要傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，對(duì)精度要求不高，一般常用 N級(jí)。

線性導(dǎo)軌的選型首先要看工作臺(tái)的重量和尺寸，以便計(jì)算出導(dǎo)軌的大致型號(hào)和導(dǎo)軌的長(zhǎng)度，有了大概的型號(hào)和長(zhǎng)度，接下來(lái)要確定滑塊的安裝尺寸，常用的滑塊有法蘭型和方型，而這兩種形式又分普通的和加長(zhǎng)的兩種，假如承重較大，建議選擇加長(zhǎng)滑塊。

作為設(shè)備的核心部件之一，直線導(dǎo)軌起到了引導(dǎo)和支撐的作用。導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲。為保證機(jī)床的加工精度，要求機(jī)床的導(dǎo)軌、直線具有較高的導(dǎo)向精度，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。由于被加工零件在加工過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的腐蝕性粉塵和煙i塵，使導(dǎo)軌、直線軸表面長(zhǎng)期大量沉積，嚴(yán)重影響設(shè)備的加工精度，并在導(dǎo)軌、直線軸表面形成蝕點(diǎn)，縮短設(shè)備的使用壽命。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——閉式圓柱靜壓氣浮導(dǎo)軌

為使機(jī)器工作穩(wěn)定，保證產(chǎn)品的加工質(zhì)量，應(yīng)認(rèn)真做好導(dǎo)軌，直線軸的日常維護(hù)。清洗導(dǎo)軌請(qǐng)準(zhǔn)備干棉布，潤(rùn)滑劑。先將激光頭移至右邊(或左邊)，找出直線導(dǎo)軌，用干棉布擦拭，直至光亮無(wú)塵，再加少許潤(rùn)滑油，將激光頭左右緩慢推數(shù)次，使?jié)櫥途鶆蚣纯伞?

將橫梁移至內(nèi)側(cè)，打開(kāi)機(jī)頭兩側(cè)端蓋，找出導(dǎo)軌，用干棉布擦拭兩側(cè)導(dǎo)軌與滾輪接觸處，再將橫梁移至另一邊，將其余地方清洗干凈正常直線導(dǎo)軌出廠前，先用防銹油擦拭表面，但在使用一段時(shí)間后，其表面仍會(huì)出現(xiàn)較嚴(yán)重的銹蝕。

因此直線導(dǎo)軌使用后，仍需再次在其表面涂抹防銹油，應(yīng)將其放置于常溫儲(chǔ)藏室內(nèi)，不能與腐蝕性物品混用，也不能將暫時(shí)不用的直線導(dǎo)軌，直接存放于儲(chǔ)藏室地面，因?yàn)榈孛鏁?huì)加速防銹油的蒸發(fā)，所以這點(diǎn)在使用時(shí)需大家多加注意。