光波超精密——靜壓空氣導(dǎo)軌

根據(jù)檢測方法的不同，可以對導(dǎo)軌直線度進行分類，對一般的導(dǎo)軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導(dǎo)軌實際線的誤差曲線，確定導(dǎo)軌直線度誤差。

但在測量高精度導(dǎo)軌直線度時，導(dǎo)軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數(shù)量級，此時使用距法就不能將導(dǎo)軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——靜壓空氣導(dǎo)軌

當前導(dǎo)軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數(shù)據(jù)

用于三坐標測量機上的導(dǎo)向裝置有：滑動導(dǎo)向裝置、滾動導(dǎo)向裝置和氣浮導(dǎo)向裝置?；壘雀撸休d能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢?，F(xiàn)在大多數(shù)三坐標測量機都采用安氣靜壓導(dǎo)軌，也叫氣浮式導(dǎo)軌，其優(yōu)點是制作簡單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——靜壓空氣導(dǎo)軌

節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。