壓電疊堆的特性分析：在精密驅動機構中，驅動器是必備的重要部件，驅動器的行呢個直接影響到精密驅動機構的性能，壓電陶瓷具有自發(fā)極化的性質, 而自發(fā)極化可以在外電場的作用下發(fā)生轉變。當給具有壓電性的電介質加上外電場時會發(fā)生如圖所示的變化, 壓電陶瓷會有變形。壓電比列閥的工作原理：壓電比例閥利用壓電原件與半導體傳感器，通過對電氣比例信號的調節(jié)，可高精度，高響應、無噪音的對氣體的壓力與流量進行無級控制。

 閥腔體和閥芯要求加工精度很高，圓度、不同圓柱面的同軸度，因為閥芯與閥體的配合既要保證很好地密封性能又要保證摩擦力比較低壓電疊堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用單片壓電陶瓷電場作用下的直接伸長變形,再通過多層疊加使總的變形達到一個較大的數值。壓電具有以下優(yōu)點：頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結構簡單、工作可靠和重量輕等。壓電陶瓷是一類具有壓電特性的電子陶瓷材料.

 壓電疊堆具有承載力大、響應快、位移可重復性好、體積以及電場控制相對簡單等優(yōu)點。諧振位移驅動器是利用壓電體在諧振狀態(tài)下大的位移變形來形成驅動能力的。經過極化處理后的壓電陶瓷，在電場取消之后，會保留一定的宏觀剩余極化強度，從而使陶瓷具有了一定的壓電性質。壓電陶瓷特性是具有壓電性, 包括正壓電性和逆壓電性。由于在影響壓電疊堆位移精度的特性中，滯環(huán)特性對其影響，對壓電疊堆( Tokin AE0505D16)不同路徑的加壓過程進行大量數據的實測分析，了解在0~ 100V這一區(qū)間內的滯環(huán)特性。

 比例式壓力閥基本上是以電磁線圈所產生的電磁力,來取代傳統(tǒng)壓力閥上的彈簧設定壓力,由于電磁線圈產生的電磁力是和電流的大小成正比的，為了使陶瓷能表現出宏觀的壓電特性，就必須在壓電陶瓷燒成并于端面被復電極之后，將其置于強直流電場下進行極化處理，以使原來混亂取向的各自發(fā)極化矢量沿電場方向擇優(yōu)取向.壓電振子產生強烈的振動，其數值大出原有振動位移的幾十倍乃至上百倍,利用此諧振狀態(tài)下大的位移變形進行位移輸出。