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進(jìn)口分子泵維修
分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決?
原因:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
維修方法:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
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360度任意角度安裝,長壽命,平均無故障運行時間長達(dá)12000小時。轉(zhuǎn)子葉片一次加工完成,不僅自重輕,而且大大減小了葉片內(nèi)的應(yīng)力。因此機械強度高,轉(zhuǎn)子壽命長,
分子泵對氣體,特別是小分子氣體,有很高的壓縮比
分子泵對不同的氣體的抽速和壓縮比是有顯著不同的。壓縮比描述的是分子泵對特定氣體的壓縮能力。在分子泵的排氣口壓力保持不變的情況下,對壓縮比比較大的分子泵來說,氣體分子由排氣口返流回進(jìn)氣口的量較小,反之,則返流較大。
障現(xiàn)象:系統(tǒng)通電時,LED沒有閃爍0.5秒檢查:電源是否出現(xiàn)故障操作:確保電源已打開并且保險絲(及限流設(shè)備)未松開。故障現(xiàn)象:發(fā)送并行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)檢查:檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動操作:如果有故障信號,應(yīng)檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。
異物進(jìn)入分子泵:工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時,會對高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害,建議立即停機送修檢測。分子泵無法達(dá)到全速,真空度抽不下去:請檢查前級真空是否正常,如果是分子泵組,請先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時間后在觀察下,無法解決問題建議立即送修檢測