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發(fā)布時(shí)間:2021-09-02 21:32  






zui近光刻機(jī)和蝕刻機(jī)一直都是當(dāng)前zui熱的話(huà)題,可以說(shuō)光刻機(jī)是芯片制造的魂,蝕刻機(jī)是芯片制造的魄,要想制造的芯片,這兩個(gè)東西都必須。    這倆機(jī)器zui簡(jiǎn)單的解釋就是光刻機(jī)把電路圖投影到覆蓋有光刻膠的硅片上面,刻蝕機(jī)再把剛才畫(huà)了電路圖的硅片上的多余電路圖腐蝕掉,這樣看起來(lái)似乎沒(méi)什么難的,但是有一個(gè)形象的比喻,每一塊芯片上面的電路結(jié)構(gòu)放大無(wú)數(shù)倍來(lái)看比整個(gè)北京都復(fù)雜,這就是這光刻和蝕刻的難度。    光刻的過(guò)程就是現(xiàn)在制作好的硅圓表面涂上一層光刻膠(一種可以被光腐蝕的膠狀物質(zhì)),接下來(lái)通過(guò)光線(xiàn)(工藝難度紫外光<深紫外光<極紫外光)透過(guò)掩膜照射到硅圓表面(類(lèi)似投影),因?yàn)楣饪棠z的覆蓋,照射到的部分被腐蝕掉,沒(méi)有光照的部分被留下來(lái),這部分便是需要的電路結(jié)構(gòu)。    蝕刻分為兩種,一種是干刻,一種是濕刻(目前主流),顧名思義,濕刻就是過(guò)程中有水加入,將上面經(jīng)過(guò)光刻的晶圓與特定的化學(xué)溶液反應(yīng),去掉不需要的部分,剩下的便是電路結(jié)構(gòu)了,干刻目前還沒(méi)有實(shí)現(xiàn)商業(yè)量產(chǎn),其原理是通過(guò)等離子體代替化學(xué)溶液,去除不需要的硅圓部分。






激光因其環(huán)保、制造工藝簡(jiǎn)單、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn),已成為大多數(shù)TP廠(chǎng)家的。激光蝕刻機(jī)用于高精度光學(xué)設(shè)備的日常維護(hù),不僅能有效降低設(shè)備故障率,提高設(shè)備加工效率,降低生產(chǎn)成本的消耗。    日常維護(hù)和保養(yǎng)中首先務(wù)必要保證設(shè)備的清潔,并保證使其工作環(huán)境清潔無(wú)塵。ITO/Ag激光蝕刻設(shè)備的光學(xué)器件主要由晶體和鏡片組成,且其表面均鍍有精密膜,灰塵對(duì)所鍍的膜層影響很大,不僅會(huì)減弱激光的輸出功率,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)損壞光學(xué)器件表面的膜層,以至光學(xué)器件損壞或報(bào)廢,造成設(shè)備無(wú)法正常工作。    在平常的保養(yǎng)中,如發(fā)現(xiàn)光學(xué)器件表面有灰塵,可以用吹氣球?qū)χ骷砻孑p輕的吹去灰塵,嚴(yán)禁用嘴直接對(duì)著器件表面吹氣。如果用吹氣球無(wú)法除去器件表面的污垢,可以用鏡頭紙對(duì)器件表面輕輕的擦拭,還可以用脫脂棉醮酒精(純度95%以上,是分析純)對(duì)器件表面輕輕的擦拭。






什么是金屬蝕刻機(jī)

 金屬蝕刻機(jī)上先用絲網(wǎng)印刷或絲網(wǎng)印刷基板需求的覆蓋件板保護(hù),然后再用化學(xué)或電化學(xué)腐蝕掉不需要的部分,并回去保護(hù)膜,是一種方式處理產(chǎn)品。    金屬蝕刻機(jī)是生產(chǎn)標(biāo)牌、板、金屬工藝品、金屬版畫(huà)、過(guò)程的關(guān)鍵一步。次工業(yè)技術(shù)中的應(yīng)用是在打印版的絲綢之路,由于絲綢之路的絲絲密集,加工將難以實(shí)現(xiàn)。不同的金屬性能會(huì)發(fā)生變化,蝕刻的圖案精度的不同蝕刻深度,刻蝕方法是蝕刻劑成分都不相同,感光耐腐蝕材料也會(huì)發(fā)生變化。    東莞市華誼智能科技有限公司,坐落于珠三角東部經(jīng)濟(jì)走廊-虎門(mén)濱海灣新區(qū),是一家研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、安裝、調(diào)試及售后服務(wù)為一體的精密蝕刻機(jī)企業(yè),公司主要經(jīng)營(yíng):蝕刻機(jī)、五金蝕刻機(jī)、引線(xiàn)框架蝕刻機(jī)、補(bǔ)強(qiáng)片蝕刻機(jī)、金屬腐蝕機(jī)、真空蝕刻機(jī)等設(shè)備。





蝕刻注意的問(wèn)題

提高整個(gè)板子表面蝕刻速率的均勻性    板子上下兩面以及板面上各個(gè)部位的蝕刻均勻性是由板子表面受到蝕刻劑流量的均勻性決定的。    蝕刻過(guò)程中,上下板面的蝕刻速率往往不一致。一般來(lái)說(shuō),下板面的蝕刻速率高于上板面。因?yàn)樯习迕嬗腥芤旱亩逊e,減弱了蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行??梢酝ㄟ^(guò)調(diào)整上下噴嘴的噴啉壓力來(lái)解決上下板面蝕刻不均的現(xiàn)象。蝕刻印制板的一個(gè)普遍問(wèn)題是在相同時(shí)間里使全部板面都蝕刻干凈是很難做到的,板子邊緣比板子中心部位蝕刻的快。采用噴淋系統(tǒng)并使噴嘴擺動(dòng)是一個(gè)有效的措施。更進(jìn)一步的改善可以通過(guò)使板中心和板邊緣處的噴淋壓力不同,板前沿和板后端間歇蝕刻的辦法,達(dá)到整個(gè)板面的蝕刻均勻性。    提高安全處理和蝕刻薄銅箔及薄層壓板的能力    在蝕刻多層板內(nèi)層這樣的薄層壓板時(shí),板子容易卷繞在滾輪和傳送輪上而造成廢品。所以,蝕刻內(nèi)層板的設(shè)備必須保證能平穩(wěn)的,可靠地處理薄的層壓板。許多設(shè)備制造商在蝕刻機(jī)上附加齒輪或滾輪來(lái)防止這類(lèi)現(xiàn)象的發(fā)生。更好的方法是采用附加的左右搖擺的聚四氟乙烯涂包線(xiàn)作為薄層壓板傳送的支撐物。對(duì)于薄銅箔(例如1/2或1/4盎司)的蝕刻,必須保證不被擦傷或劃傷。薄銅箔經(jīng)不住像蝕刻1盎司銅箔時(shí)的機(jī)械上的弊端,有時(shí)較劇烈的振顫都有可能劃傷銅箔。





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