曝光及顯影設(shè)備還包括主體曝光機(jī)10、基板輸送機(jī)構(gòu)50及傳送裝置40。主體曝光機(jī)10用于先對(duì)基板S的主體進(jìn)行曝光。傳送裝置40用于將來自該主體曝光機(jī)10的基板S傳送至基板輸送機(jī)構(gòu)50,傳送裝置40例如為機(jī)械手臂?；遢斔蜋C(jī)構(gòu)50用于將基板S輸送至顯影裝置30，基板輸送機(jī)構(gòu)50例如為輸送輥。由于該基板的長(zhǎng)邊邊緣容易存在殘留光阻，因此，本公開通過設(shè)置對(duì)應(yīng)于基板的長(zhǎng)邊邊緣的邊緣曝光裝置20，即可去除絕大部分的殘留光阻。


成本及投資風(fēng)險(xiǎn)低 沒有金屬毛邊、產(chǎn)品無機(jī)械加工之應(yīng)力殘留（沒有毛刺、無凸起、兩面一樣光、一樣平、沒有鐳射切割之燒結(jié)點(diǎn)），精密蝕刻產(chǎn)品開孔垂直，線條清晰；生產(chǎn)單價(jià)較鐳射，CNC及線切割低 3.產(chǎn)品的精密度及重復(fù)性高(±0.005mm) 4.可處理精密及復(fù)雜度高的設(shè)計(jì)、產(chǎn)品容易修改設(shè)計(jì) 5.不影響材料的物理特性，可按圖紅加工平面凹凸型的金屬材料制品，如：文字、數(shù)字及復(fù)雜圖型、圖案，制造各種精密的，任意形狀的通孔零件。



腐蝕液中PH值對(duì)精密五金蝕刻速度的影響：PH值低,有力于不銹鋼的腐蝕；PH值過高三氯化鐵水解成氫氧化鐵沉淀，失去腐蝕作用。在生產(chǎn)中要加裝自動(dòng)添加裝置，調(diào)整其PH值。溫度的影響；精密五金蝕刻液的溫度越高，腐蝕速度越快。但考慮到保護(hù)油墨的承受能力，溫度應(yīng)控制在40℃~52℃之間為宜。精密五金蝕刻設(shè)備對(duì)腐蝕速度的影響：在理論上腐蝕液的壓力愈大，腐蝕速度愈快。腐蝕機(jī)的淋噴裝置對(duì)不銹鋼表面具有沖擊力，腐蝕液與不銹鋼板形成動(dòng)能撞擊提高反應(yīng)速度在短時(shí)間內(nèi)完成腐蝕，因而提高了精密五金蝕刻質(zhì)量。