真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機(jī)尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

　    真空泵的維修的基本知識點(diǎn)?隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。

       旋片真空泵在使用一段時間后就可能會出現(xiàn)一些故障問題，比較常見的就是真空度下降、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動停滯等情況，甚至還可能出現(xiàn)“卡死”、生銹和大的撞擊聲、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異?，F(xiàn)象，這時候一定要對真空泵進(jìn)行拆洗。

　    要確定電機(jī)故障，首先應(yīng)了解故障的發(fā)生，尤其是故障發(fā)生前后的變化。觀察電機(jī)的異常情況，如端蓋、風(fēng)扇、外殼是否松動、、損壞，氣道是否堵塞，軸是否彎曲，是否有特殊現(xiàn)象氣味，絕緣被燒毀。氣味也是油脂或其他油脂熔化和蒸發(fā)的氣味。用手轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)子，聽聽是否有異物摩擦或定子和轉(zhuǎn)子鐵芯摩擦。如果仍然可以啟動電機(jī)，請注意啟動和運(yùn)行期間聲音是否異常。并用手觸摸電機(jī)部件，檢查熱量程度以及是否存在局部過熱(如軸承室附近的熱量與其他部件相比)和振動。

　　相位異步真空泵電動機(jī)的繞組損壞，并且相量損失操作引起大量的繞組。所謂的缺相運(yùn)行意味著運(yùn)行中的電機(jī)突然斷電，電機(jī)仍在工作。由于電流太大，繞組必然會燒壞。當(dāng)發(fā)生缺相操作時，電機(jī)聲音極其異常。發(fā)現(xiàn)后應(yīng)立即切斷電源停止檢查。