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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
水環(huán)真空泵的管道在布置時應(yīng)盡可能布置成直管,盡量減小管道中的附件和盡量減少管道長度,必需轉(zhuǎn)彎的時分,彎頭的彎曲半徑應(yīng)該是管道直徑的3~5倍,角度盡可能大于90℃。
水環(huán)真空泵排出管及其管接頭應(yīng)考慮所能接受的壓力。
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真空度在一定程度上反映出水環(huán)真空泵的性能,我們在使用時,調(diào)節(jié)真空度的方法有哪些呢?
1、加精泄壓閥,定向排放有毒氣體到容器的通道。
2、再簡單一些,就可以用智能水環(huán)真空泵,泵的上面有按鈕,可以設(shè)定負(fù)壓,還有液晶面板顯示負(fù)壓。
有效稀釋有害氣體的濃度:
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時,需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍?! ?/span>
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安裝水環(huán)式真空泵時進(jìn)出口沒有安裝止回閥,導(dǎo)致停泵之后水迅速返回,出口壓力下降之后所以低于預(yù)設(shè)的壓力之后全水環(huán)式真空泵就會再次啟動。這種水環(huán)式真空泵頻繁啟動的解決辦法就是自吸泵在出口安裝一個止回閥就能解決問題。
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