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光刻膠介紹
光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠和PCB光刻膠。其中,半導(dǎo)體光刻膠的技術(shù)壁壘較高。
從技術(shù)水平來看,在PCB領(lǐng)域,國產(chǎn)光刻膠具備了一定的技術(shù)和量產(chǎn)能力,已經(jīng)實現(xiàn)對主流廠商大批量供貨。
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光刻膠市場空間與半導(dǎo)體的分不開。2012-2018年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模復(fù)合增速8.23%,在全球半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展下,全球半導(dǎo)體光刻膠市場持續(xù)增長。
而國內(nèi)市場,因全球半導(dǎo)體、液晶面板以及消費電子等產(chǎn)業(yè)向國內(nèi)轉(zhuǎn)移,對光刻膠需求量迅速增量。
但是遠遠不夠,從全球光刻膠的市場競爭格局來看,光刻膠市場主要由日韓企業(yè)主導(dǎo),國內(nèi)企業(yè)市場份額集中在低端的PCB光刻膠上,高技術(shù)壁壘的LCD 和半導(dǎo)體光刻膠主要依賴進口。根據(jù)某些數(shù)據(jù)顯示,國內(nèi)光刻膠產(chǎn)值當中,PCB光刻膠的占比高達95%,半導(dǎo)體光刻膠和LCD光刻膠產(chǎn)值占比都僅有2%。
由上分析可知,我國目前在光刻膠領(lǐng)域急需技術(shù)突破的。
光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,耗時占IC制造50%左右,成本約占IC生產(chǎn)成本的1/3。光刻膠是光刻過程重要的耗材,光刻膠的質(zhì)量對光刻工藝有著重要影響。
光刻是將圖形由掩膜版上轉(zhuǎn)移到硅片上,為后續(xù)的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經(jīng)紫外線曝光后,光刻膠的化學性質(zhì)發(fā)生變化,在通過顯影后,被曝光的光刻膠將被去除,從而實現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉(zhuǎn)移到光刻膠上。再經(jīng)過刻蝕過程,實現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉(zhuǎn)移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護作用。
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光刻膠分類
根據(jù)化學反應(yīng)機理和顯影原理的不同,光刻膠可以分為負性膠和正性膠。對某些溶劑可溶,但經(jīng)曝光后形成不可溶物質(zhì)的是負性膠;反之,對某些溶劑不可溶,經(jīng)曝光后變成可溶的為正性膠。
從需求端來看,光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠和PCB光刻膠。其中,半導(dǎo)體光刻膠的技術(shù)壁壘較高。
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