NR9-3000PYPR1 2000A1光刻膠報(bào)價(jià)

2,涂膠，在硅片覆蓋，旋轉(zhuǎn)，離心力，在硅片表面通過旋轉(zhuǎn)的光刻膠，工藝參數(shù)3000-6000rpm   膠膜厚0.5-1um， 

3,前烘，通過在較高溫度下進(jìn)行烘焙，使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發(fā)，溶劑將至5%左右，同時(shí)增強(qiáng)與襯底的粘附性。前烘方法：熱平板傳導(dǎo)，干燥循環(huán)熱風(fēng)提高附著力，紅外線輻射。

烘箱前烘條件：90-100度，10-20min，前烘時(shí)間與溫度應(yīng)適當(dāng)，如太長(zhǎng)或溫度太高，光刻膠層變脆而附著力下降，而前烘不足會(huì)影響后面的顯影效果。

NR77-20000PYPR1 2000A1光刻膠報(bào)價(jià)

光刻膠存儲(chǔ)條件及操作防護(hù)

光刻膠是一種可燃液體，儲(chǔ)存條件應(yīng)符合對(duì)應(yīng)的法規(guī)，不要與強(qiáng)氧化劑混合，存放在通風(fēng)良好的地方，保持容器密閉，避免吸入蒸汽或霧氣，避免接觸眼睛、皮膚或衣服，操作后徹底清洗。

個(gè)人防護(hù)

眼睛：佩戴化學(xué)飛濺護(hù)目鏡。

皮膚：戴上適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套防止皮膚暴露。

服裝：穿戴合適的防護(hù)服防止皮膚暴露。

呼吸器：無論何時(shí)在工作環(huán)境下呼吸保護(hù)必須遵循中國(guó)職業(yè)安全健康管理局標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定和ANSI美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)Z88.2的相關(guān)要求，或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護(hù)EN 149的標(biāo)準(zhǔn)。

PC6-16000

NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì)：

- 優(yōu)異的分辨率性能

- 快速地顯影

- 可以通過調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度

- 耐受溫度100℃

- 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年

NR9-1000PY 0.7μm - 2.1μm

NR9-1500PY 1.1μm - 3.1μm

NR9-3000PY 2.1μm - 6.3μm

NR9-6000PY 5.0μm -

12.2μm  

Resist Thickness

NR71-1000PY 0.7μm - 2.1μm

NR71-1500PY 1.1μm - 3.1μm

NR71-3000PY 2.1μm - 6.3μm

NR71-6000PY 5.0μm - 12.2μm