三維形貌測量系統(tǒng)

可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。

那么自動(dòng)影像測量儀的日常保養(yǎng)細(xì)則究竟有哪些呢？　　和其他傳統(tǒng)的測量儀器不同的是，自動(dòng)影像測量設(shè)備增加了更多先進(jìn)的制作技術(shù)，所以在運(yùn)行期間不需要太多的手動(dòng)操作就可以完成測量任務(wù)，也因?yàn)檫@樣的原因，所以自動(dòng)影像測量設(shè)備的構(gòu)造更加精細(xì)，平時(shí)在使用和存放時(shí)要注意方式方法。　　正確的保養(yǎng)方式可以讓自動(dòng)影像測量儀的使用壽命更長，但是在通過測量儀對工件等進(jìn)行測量時(shí)要注意，不可以在有振動(dòng)源的環(huán)境中使用這種儀器，當(dāng)環(huán)境內(nèi)存在振動(dòng)源時(shí)，會(huì)讓自動(dòng)影像測量設(shè)備內(nèi)部的元件出現(xiàn)質(zhì)量問題，也會(huì)影響到測量精度。　　另外自動(dòng)影像測量儀要用于無塵環(huán)境中使用，當(dāng)生產(chǎn)場所中有太多灰塵時(shí)，要增加防塵裝置，這樣可以達(dá)到更好的保護(hù)效果，另外用戶也要定期對儀器設(shè)備進(jìn)行清潔。

 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺(tái)階高度，距離，面積，角度和體積進(jìn)行多范圍測量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。


一、三維表面形貌儀測量原理：低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號(hào)處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大，背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出，成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。    二、三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn)：    1、每秒一百萬張二維圖像    2、無損表面形貌檢測和分析    3、高精度在線/離線檢測    4、模塊化設(shè)計(jì)，超高集成靈活性    5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動(dòng)，噪聲，溫度等）    6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域