無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

潔凈廠房的竣工驗(yàn)收合格，并經(jīng)核實(shí)批準(zhǔn)后，按要求進(jìn)行功能驗(yàn)收，功能驗(yàn)收是在“靜態(tài)”進(jìn)行測(cè)試，其主要測(cè)試內(nèi)容如下：

1 檢測(cè)空氣潔凈度等級(jí);

2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應(yīng)進(jìn)行微生物測(cè)試或化學(xué)污染物測(cè)試或特殊表面的潔凈度測(cè)試;

3 潔凈室(區(qū))的溫度、相對(duì)濕度的穩(wěn)定性測(cè)試;

4 檢測(cè)自凈時(shí)間;

5 檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性測(cè)試;

6 測(cè)定照度;

7 測(cè)定噪聲級(jí);

8 需要時(shí)，確認(rèn)和記錄氣流形式和換氣次數(shù);

9 其他需要進(jìn)行的其他檢測(cè)項(xiàng)目。

電子潔凈廠的設(shè)計(jì)必須符合相關(guān)的工藝標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)然，在實(shí)際的設(shè)計(jì)過(guò)程中，它們的要求也是不同的。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對(duì)微生物污染采取程度不同的控制，達(dá)到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求；并提供適宜的溫、濕度，創(chuàng)造一個(gè)潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴(yán)格控制低細(xì)菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗(yàn)收指標(biāo)。

潔凈車間表面光滑，盡可能減少集塵面，輪廓簡(jiǎn)潔。潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)合理確定廠房的耐火等級(jí)、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置?？紤]到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素，確定合適的斷面形式和層高，以節(jié)約能源，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計(jì)應(yīng)營(yíng)造愉快的心理環(huán)境，減少抑郁的感覺(jué)。