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凈化室工程共包含下列功用室:主實驗室:該實驗室為主體實驗室,規(guī)劃的凈化等級為三十萬級—十萬級。更衣室:該實驗室用于放置更衣柜,進主實驗室之前的替換衣服和鞋運用。緩沖室:該實驗室為ICP儀器室的一個緩沖室,用作隔離實驗室外部的塵土充滿到儀器室內。風淋室:思考更高凈化等級的請求,關于本實驗室的實際請求,能夠不選用。
實驗室潔凈度及壓力梯度:主實驗室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調操控),規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機),潔凈等級為三十萬級—十萬級,換氣次數25次/小時,相對壓力為 10Pa,規(guī)劃送風量900m3/h,過濾器送風口的風量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級為十萬級,換氣次數15次/小時,相對壓力為 5Pa,規(guī)劃送風量110m3/h,過濾器送風口的風量為500 m3/h。